På grund af den høje temperaturstabilitet, høje elektronmigreringsmodstand og høje elektronemissionskoefficient for ildfaste wolfram og wolframlegeringer, bruges højrente wolfram- og wolframlegeringsmål hovedsageligt til fremstilling af gateelektroder, forbindelsesledninger, diffusionsbarrierelag osv. af halvledere. integrerede kredsløb, og har høje krav til renhed, indhold af urenhedselementer, tæthed, kornstørrelse og kornstrukturens ensartethed af materialer. Lad os nu tage et kig på de faktorer, der påvirker fremstillingen af højrent wolframmål.
1、 Effekt af sintringstemperatur
Dannelsesprocessen for wolfram-målembryoet er generelt lavet ved kold isostatisk presning. Wolframkornet vil vokse under sintringsprocessen. Væksten af wolframkornet vil udfylde hullet mellem korngrænserne og dermed forbedre tætheden af wolframmålet. Med stigningen i sintringstider aftager stigningen i wolframmåltætheden gradvist. Hovedårsagen er, at kvaliteten af wolframmål efter flere sintringer ikke har ændret sig meget. Fordi de fleste af hulrummene i korngrænsen er fyldt med wolframkrystaller, har den samlede størrelsesændringshastighed for wolframmål efter hver sintring været meget lille, hvilket resulterer i begrænset plads til, at tætheden af wolframmål kan stige. Med sintringsprocessen fyldes de dyrkede wolframkorn i hulrummene, hvilket resulterer i en højere tæthed af målet med mindre partikelstørrelse.
2、 Effekt af holdetid
Ved den samme sintringstemperatur vil kompaktheden af wolframmålet blive forbedret med forlængelsen af sintringsholdetiden. Med forlængelsen af holdetiden vil wolframkornstørrelsen stige, og med forlængelsen af holdetiden vil væksttiderne for kornstørrelsen gradvist aftage, hvilket betyder, at en forøgelse af holdetiden også kan forbedre ydeevnen af wolfram mål.
3、 Effekt af rullende på målegenskaber
For at forbedre tætheden af wolframmålmateriale og opnå bearbejdningsstrukturen af wolframmålmateriale skal middeltemperaturvalsningen af wolframmålmateriale udføres under omkrystallisationstemperaturen. Hvis valsetemperaturen for målemballen er høj, vil fiberstrukturen af målstaven være grov og omvendt. Når varmvalsningshastigheden når mere end 95%. Selvom forskellen i fiberstruktur forårsaget af forskellige originale korn eller forskellige rulletemperaturer vil blive elimineret, vil den interne struktur af målet danne en relativt ensartet fiberstruktur, så jo højere behandlingshastigheden for varmvalsning er, jo bedre ydeevne har målet.
Indlægstid: 15-feb-2023