Revner i sputtermål forekommer normalt i keramiske sputtermål såsom oxider, carbider, nitrider og skøre materialer såsom krom, antimon, vismut. Lad nu de tekniske eksperter fra RSM forklare, hvorfor sputtermålet revner, og hvilke forebyggende foranstaltninger der kan træffes for at undgå denne situation.
Keramiske eller sprøde materialemål indeholder altid iboende spændinger. Disse interne spændinger genereres i målfremstillingsprocessen. Derudover elimineres disse spændinger ikke fuldstændigt af udglødningsprocessen, fordi de er iboende egenskaber ved disse materialer. I sputteringsprocessen overfører bombardementet af gasioner deres momentum til målatomerne, hvilket giver dem nok energi til at adskille dem fra gitteret. Denne eksoterme impulsoverførsel får måltemperaturen til at stige, hvilket kan nå 1000000 ℃ på atomniveau.
Disse termiske stød øger den eksisterende indre spænding i målet til mange gange. I dette tilfælde, hvis varmen ikke spredes ordentligt, kan målet knække. For at forhindre, at målet revner, bør varmeafledning fremhæves. En vandkølingsmekanisme er påkrævet for at fjerne uønsket varmeenergi fra målet. Et andet spørgsmål at overveje er stigningen i magt. For meget strøm på kort tid vil også forårsage termisk stød til målet. Derudover foreslår vi at binde disse mål til bagplanet, hvilket ikke kun kan give støtte til målet, men også fremme bedre varmeudveksling mellem målet og vandet. Hvis målet har revner, men er bundet til bagpladen, kan det stadig bruges.
Rich Special Materials Co., Ltd. kan levere sputtermål med backplane. Det kan tilpasses efter kundernes krav til materiale, tykkelse og limningstype.
Indlægstid: 21. september 2022