Mae'r diwydiant lled-ddargludyddion yn aml yn gweld term ar gyfer deunyddiau targed, y gellir eu rhannu'n ddeunyddiau wafer a deunyddiau pecynnu. Mae gan ddeunyddiau pecynnu rwystrau technegol cymharol isel o'u cymharu â deunyddiau gweithgynhyrchu wafferi. Mae'r broses gynhyrchu wafferi yn bennaf yn cynnwys 7 math o ddeunyddiau lled-ddargludyddion a chemegau, gan gynnwys un math o ddeunydd targed sputtering. Felly beth yw'r deunydd targed? Pam mae'r deunydd targed mor bwysig? Heddiw byddwn yn siarad am beth yw'r deunydd targed!
Beth yw'r deunydd targed?
Yn syml, y deunydd targed yw'r deunydd targed sy'n cael ei beledu gan ronynnau gwefru cyflym. Trwy ddisodli gwahanol ddeunyddiau targed (fel alwminiwm, copr, dur di-staen, titaniwm, targedau nicel, ac ati), gellir cael gwahanol systemau ffilm (fel ffilmiau aloi superhard, gwrthsefyll traul, gwrth-cyrydu, ac ati).
Ar hyn o bryd, gellir rhannu deunyddiau targed sputtering (purdeb) yn:
1) Targedau metel (alwminiwm metel pur, titaniwm, copr, tantalwm, ac ati)
2) Targedau aloi (aloi cromiwm nicel, aloi cobalt nicel, ac ati)
3) Targedau cyfansawdd ceramig (ocsidau, silicidau, carbidau, sulfidau, ac ati).
Yn ôl gwahanol switshis, gellir ei rannu'n: targed hir, targed sgwâr, a tharged cylchol.
Yn ôl gwahanol feysydd cais, gellir ei rannu'n: targedau sglodion lled-ddargludyddion, targedau arddangos panel gwastad, targedau celloedd solar, targedau storio gwybodaeth, targedau wedi'u haddasu, targedau dyfeisiau electronig, a thargedau eraill.
Drwy edrych ar hyn, dylech fod wedi dod i ddeall targedau sbuttering purdeb uchel, yn ogystal â'r alwminiwm, titaniwm, copr, a tantalwm a ddefnyddir mewn targedau metel. Mewn gweithgynhyrchu wafferi lled-ddargludyddion, y broses alwminiwm fel arfer yw'r prif ddull ar gyfer gweithgynhyrchu wafferi 200mm (8 modfedd) ac is, a'r deunyddiau targed a ddefnyddir yn bennaf yw elfennau alwminiwm a thitaniwm. Gweithgynhyrchu wafferi 300mm (12 modfedd), gan ddefnyddio technoleg rhyng-gysylltiad copr uwch yn bennaf, gan ddefnyddio targedau copr a tantalwm yn bennaf.
Dylai pawb ddeall beth yw'r deunydd targed. Yn gyffredinol, gyda'r ystod gynyddol o gymwysiadau sglodion a'r galw cynyddol yn y farchnad sglodion, yn bendant bydd cynnydd yn y galw am y pedwar deunydd metel ffilm tenau prif ffrwd yn y diwydiant, sef alwminiwm, titaniwm, tantalwm a chopr. Ac ar hyn o bryd, nid oes unrhyw ateb arall a all ddisodli'r pedwar deunydd metel ffilm tenau hyn.
Amser postio: Gorff-06-2023