Nid yw llawer o ddefnyddwyr yn ystyried prynu targedau o safbwynt proffesiynol, felly beth y dylid rhoi sylw iddo wrth brynu targedau? Gadewch i ni ofyn i Xiaobian Beijing Ruichi dynnu sylw at y materion sydd angen sylw wrth brynu targedau.
Yn gyntaf, ar gyfer y targed, mae'r purdeb yn un o'i brif ddangosyddion swyddogaethol, ac mae purdeb y targed yn cael effaith fawr ar swyddogaeth y ffilm cynnyrch diweddarach. Mae gan bob cynnyrch hefyd ofynion gwahanol ar gyfer purdeb y targed.
Yn ail, cynnwys amhuredd elfennau unigol yn y targed. Ar ôl cyfres o brosesu targed, yr amhureddau yn y solid targed a'r anwedd ocsigen a dŵr yn y pores yw prif ffynonellau llygredd y ffilmiau a adneuwyd. Oherwydd y gwahanol ddefnyddiau o dargedau, mae'r gofynion ar gyfer gwahanol gynnwys amhuredd targedau gyda gwahanol ddefnyddiau hefyd yn wahanol. Er enghraifft, mae gan dargedau aloi alwminiwm ac alwminiwm pur a ddefnyddir yn y diwydiant lled-ddargludyddion bellach ofynion arbennig ar gyfer cynnwys metelau alcali ac elfennau ymbelydrol.
Mae dwysedd hefyd yn un o fynegeion perfformiad pwysig y targed Yn y broses dechnegol o'r targed, er mwyn lleihau'r mandyllau yn y solet targed a gwella swyddogaeth y ffilm sputtered, mae'n ofynnol yn gyffredinol bod gan y targed ddwysedd uchel. Mae prif ddwysedd nodweddiadol y targed yn cael dylanwad mawr ar y gyfradd sputtering, ac yn effeithio ar swyddogaethau trydanol ac optegol y ffilm. Po uchaf yw'r dwysedd targed, y gorau yw swyddogaeth y ffilm.
Yn olaf, maint grawn a dosbarthiad grawn. Fel arfer, y deunydd targed yw polycrystalline, a gall maint y grawn amrywio o ficron i filimedr. Ar gyfer yr un targed, mae cyfradd sputtering y targed grawn mân yn gyflymach na chyfradd grawn bras; Mae trwch y ffilmiau a adneuwyd gan sputtering targed gyda gwahaniaeth maint grawn bach (gwasgariad unffurf) yn fwy unffurf.
Amser postio: Mehefin-10-2022