Mae'r defnydd eang o ddeunydd targed mewn amrywiol broffesiynau yn gwneud y galw am ddeunydd targed yn uwch ac yn uwch. Y canlynol Gwnawn cyflwyno yn fyr ti beth yw gofynion swyddogaethol sylfaenol y targed, hoping i'ch helpu chi.
Purdeb: Purdeb yw un o brif ddangosyddion swyddogaethol y targed, oherwydd mae purdeb y targed yn cael effaith fawr ar swyddogaeth y ffilm. Ond yn ymarferol, nid yw purdeb y deunydd targed yr un peth. Er enghraifft, gyda thwf cyflym y proffesiwn microelectroneg, mae maint y wafer silicon wedi datblygu o 6 ", 8" i 12 ″, ac mae lled y gwifrau wedi gostwng o 0.5um i 0.25um, 0.18um a hyd yn oed 0.13um. Unwaith y gall 99.995% o'r purdeb targed fodloni gofynion technolegol 0.35UMIC. Mae paratoi llinell 0.18um yn gofyn am 99.999% neu hyd yn oed purdeb 99.9999% o ddeunydd targed.
Dwysedd: Er mwyn lleihau'r mandylledd yn y solet targed a gwella swyddogaeth y ffilm sputtering, fel arfer mae'n ofynnol i'r targed fod â dwysedd uchel. Mae'r dwysedd targed yn effeithio nid yn unig ar y gyfradd sputtering ond hefyd ar briodweddau trydanol ac optegol y ffilmiau. Po uchaf yw'r dwysedd targed, y gorau yw swyddogaeth y ffilm.Yn ogystal, cynyddwyd dwysedd a chryfder y deunydd targed i'w gwneud yn well gallu gwrthsefyll y straen thermol yn ystod sputtering. Mae dwysedd hefyd yn un o ddangosyddion swyddogaethol pwysig sylweddau targed.
Cynnwys amhuredd: amhureddau yn y targed solet ac ocsigen ac anwedd dŵr yn y mandyllau yw'r ffynonellau llygredd sylfaenol o'r deunyddiau targed cronedig films.Different at wahanol ddibenion wedi gofynion gwahanol ar gyfer cynnwys amhuredd gwahanol. Er enghraifft, mae gan dargedau aloi alwminiwm ac alwminiwm pur a ddefnyddir yn y diwydiant lled-ddargludyddion ofynion arbennig ar gyfer cynnwys metel alcali a chynnwys elfen ymbelydrol.
Amser postio: Mehefin-06-2022