Mae llawer o ffrindiau am y gwaith cynnal a chadw y targed mae mwy neu lai o gwestiynau, yn ddiweddar mae yna hefyd lawer o gwsmeriaid yn ymgynghori ynghylch cynnal a chadw y targed problemau cysylltiedig, gadewch golygydd RSM i ni rannu am sputtering targed cynnal a chadw gwybodaeth.
Sut dylid cynnal targedau sbutter?
1 、 Cynnal a chadw targed
Er mwyn osgoi cylched byr a arcing a achosir gan ceudod aflan yn y broses sputtering, mae angen i gael gwared o bryd i'w gilydd y sputters cronni yng nghanol a dwy ochr y trac sputtering, sydd hefyd yn helpu defnyddwyr i sputter barhaus ar ddwysedd pŵer uchel.
2 、 Storio targed
Rydym yn argymell bod defnyddwyr yn storio'r targed (boed yn fetel neu'n seramig) mewn pecynnu gwactod, yn enwedig rhaid storio'r targed gosod mewn gwactod i atal ocsidiad yr haen ffitio rhag effeithio ar ansawdd y ffitiadau. O ran pecynnu targedau metel, rydym yn awgrymu y dylid eu pacio mewn bagiau plastig glân o leiaf.
3 、 Targed glanhau
Y cam cyntaf yw glanhau gyda lliain meddal heb lint wedi'i socian mewn aseton;
Mae'r ail gam yn debyg i'r cam cyntaf, glanhau ag alcohol;
Cam 3: glanhau gyda dŵr deionized. Ar ôl glanhau â dŵr deionized, gosodir y targed yn y ffwrn a'i sychu ar 100 ℃ am 30 munud. Awgrymir defnyddio “brethyn di-lint” i lanhau targedau ocsid a serameg.
Y pedwerydd cam yw golchi'r targed gydag argon gyda phwysedd uchel a lleithder isel i gael gwared ar unrhyw ronynnau amhur a allai achosi arc yn y system sputtering.
4 、 Cylched byr a gwiriad tyndra
Ar ôl gosod y targed, mae angen gwirio'r catod cyfan am gylched byr a thyndra. Argymhellir barnu a oes cylched byr yn y catod trwy ddefnyddio mesurydd gwrthiant a megger. Ar ôl cadarnhau nad oes cylched byr yn y catod, gellir cynnal archwiliad gollyngiadau dŵr, a gellir cyflwyno dŵr i'r catod i benderfynu a oes dŵr yn gollwng.
5 、 Pecynnu a chludiant
Mae'r holl dargedau wedi'u pacio mewn bagiau plastig wedi'u selio dan wactod gydag asiant atal lleithder. Mae'r pecyn allanol yn gyffredinol yn flwch pren gyda haen gwrth-wrthdrawiad o gwmpas i amddiffyn y targed a'r backplane rhag difrod yn ystod cludo a storio.
Amser post: Gorff-15-2022