Rhaid inni fod yn gyfarwydd iawn â'r targed nawr, nawr mae'r farchnad darged hefyd yn cynyddu, y canlynol yw beth yw prif berfformiad sputtering target a rennir gan olygydd o RSM
Y purdeb
Purdeb deunydd targed yw un o'r prif fynegeion perfformiad, oherwydd mae purdeb deunydd targed yn dylanwadu'n fawr ar berfformiad ffilm denau. Fodd bynnag, wrth gymhwyso'n ymarferol, nid yw gofynion purdeb deunyddiau targed yr un peth. Er enghraifft, gyda datblygiad cyflym y diwydiant microelectroneg, mae maint y sglodion silicon wedi'i ddatblygu o 6 ", 8" i 12 ″, ac mae lled y gwifrau wedi'i leihau o 0.5um i 0.25um, 0.18um neu hyd yn oed 0.13um. Yn flaenorol, gall purdeb deunydd targed 99.995% fodloni gofynion proses 0.35umIC. Purdeb y deunydd targed yw 99.999% neu hyd yn oed 99.9999% ar gyfer paratoi llinellau 0.18um.
Cynnwys amhuredd
Yr amhureddau yn y solid targed a'r anwedd ocsigen a dŵr yn y mandyllau yw prif ffynonellau llygredd dyddodiad ffilm. Mae gan ddeunyddiau targed at wahanol ddibenion wahanol ofynion ar gyfer gwahanol gynnwys amhuredd. Er enghraifft, mae gan dargedau aloi alwminiwm ac alwminiwm pur a ddefnyddir mewn diwydiant lled-ddargludyddion ofynion arbennig ar gyfer cynnwys metelau alcali ac elfennau ymbelydrol.
Y dwysedd
Er mwyn lleihau'r mandylledd yn y solet targed a gwella perfformiad y ffilm sputtering, mae angen dwysedd uchel y targed fel arfer. Mae dwysedd y targed yn effeithio nid yn unig ar y gyfradd sputtering ond hefyd ar eiddo trydanol ac optegol y ffilm. Po uchaf yw'r dwysedd targed, y gorau yw perfformiad y ffilm. Yn ogystal, mae cynyddu dwysedd a chryfder y targed yn gwneud y targed yn well i wrthsefyll y straen thermol yn y broses sputtering. Mae dwysedd hefyd yn un o fynegeion perfformiad allweddol targed.
Maint grawn a dosbarthiad maint grawn
Y targed fel arfer yw polycrystalline gyda maint grawn yn amrywio o ficromedr i filimedr. Ar gyfer yr un targed, mae cyfradd sputtering y targed gyda grawn bach yn gyflymach na chyfradd y targed gyda grawn mawr. Mae dosbarthiad trwch y ffilmiau a adneuwyd gan sputtering targed gyda gwahaniaeth maint grawn llai (dosbarthiad unffurf) yn fwy unffurf.
Amser postio: Awst-04-2022