Sut i wella cyfradd defnyddio deunyddiau targed molybdenwm

Mae targedau molybdenwm sputtered wedi'u defnyddio'n helaeth yn y diwydiant electroneg, celloedd solar, cotio gwydr, a meysydd eraill oherwydd eu manteision cynhenid. Gyda datblygiad cyflym technoleg fodern mewn miniaturization, integreiddio, digideiddio, a deallusrwydd, bydd y defnydd o dargedau molybdenwm yn parhau i gynyddu, a bydd y gofynion ansawdd ar eu cyfer hefyd yn dod yn fwyfwy uchel. Felly mae angen inni ddod o hyd i ffyrdd o wella cyfradd defnyddio targedau molybdenwm. Nawr, bydd golygydd RSM yn cyflwyno sawl dull i wella cyfradd defnyddio targedau molybdenwm sputtering i bawb

1. Ychwanegu coil electromagnetig ar y cefn

Er mwyn gwella cyfradd defnyddio'r targed molybdenwm sputtered, gellir ychwanegu coil electromagnetig ar ochr gefn y targed Magnetron sputtering molybdenwm planar, a gellir cynyddu'r maes magnetig ar wyneb y targed molybdenwm trwy gynyddu'r cerrynt o y coil electromagnetig, er mwyn gwella cyfradd defnyddio'r targed molybdenwm.

2. Dewiswch ddeunydd targed cylchdroi tiwbaidd

O'i gymharu â thargedau gwastad, mae dewis strwythur targed cylchdroi tiwbaidd yn amlygu ei fanteision sylweddol. Yn gyffredinol, dim ond 30% i 50% yw cyfradd defnyddio targedau gwastad, tra gall cyfradd defnyddio targedau cylchdroi tiwbaidd gyrraedd dros 80%. Ar ben hynny, wrth ddefnyddio'r tiwb gwag cylchdroi Magnetron targed sputtering, gan fod y targed yn gallu cylchdroi o amgylch y cynulliad magned bar sefydlog drwy'r amser, ni fydd unrhyw ail-leoli ar ei wyneb, felly mae bywyd y targed cylchdroi yn gyffredinol yn fwy na 5 gwaith yn hirach. na'r targed awyren.

3. Amnewid gydag offer sputtering newydd

Yr allwedd i wella cyfradd defnyddio deunyddiau targed yw cwblhau ailosod offer chwistrellu. Yn ystod y broses sputtering o ddeunydd targed sputtering molybdenwm, bydd tua un rhan o chwech o'r atomau sputtering yn adneuo ar y wal siambr gwactod neu fraced ar ôl cael ei daro gan ïonau hydrogen, gan gynyddu cost glanhau'r offer gwactod ac amser segur. Felly gall amnewid offer chwistrellu newydd hefyd helpu i wella cyfradd defnyddio targedau molybdenwm sputtering.