Ar hyn o bryd, mae bron pob un o'r targedau copr metel purdeb uwch-uchel sy'n ofynnol gan y diwydiant IC yn cael eu monopoleiddio gan nifer o gwmnïau rhyngwladol tramor mawr. Mae angen mewnforio'r holl dargedau copr ultrapure sydd eu hangen ar y diwydiant IC domestig, sydd nid yn unig yn ddrud, ond hefyd yn gymhleth mewn gweithdrefnau mewnforio. . Gadewch i ni edrych ar y pwyntiau allweddol a'r anawsterau wrth ddatblygu targedau chwistrellu copr purdeb uchel iawn (6N).
1、Datblygu deunyddiau purdeb uchel iawn
Mae technoleg puro metelau Cu, Al a Ta purdeb uchel yn Tsieina ymhell o fod mewn gwledydd datblygedig diwydiannol. Ar hyn o bryd, ni all y rhan fwyaf o'r metelau purdeb uchel y gellir eu darparu fodloni gofynion ansawdd cylchedau integredig ar gyfer targedau sputtering yn ôl y dulliau dadansoddi confensiynol pob elfen yn y diwydiant. Mae nifer y cynhwysiadau yn y targed yn rhy uchel neu wedi'u dosbarthu'n anwastad. Gronynnau yn aml yn ffurfio ar y wafer yn ystod sputtering, gan arwain at cylched byr neu gylched agored o rhyng-gysylltu, sy'n effeithio'n ddifrifol ar berfformiad y ffilm.
2、Datblygu technoleg paratoi targed sputtering copr
Mae datblygu technoleg paratoi targed sputtering copr yn canolbwyntio'n bennaf ar dair agwedd: maint grawn, rheoli cyfeiriadedd ac unffurfiaeth. Mae gan y diwydiant lled-ddargludyddion y gofynion uchaf ar gyfer sputtering targedau ac anweddu deunyddiau crai. Mae ganddo ofynion llym iawn ar gyfer rheoli maint grawn wyneb a chyfeiriadedd grisial y targed. Rhaid rheoli maint grawn y targed ar 100μ M isod, felly, mae rheoli maint grawn a'r modd dadansoddi a chanfod cydberthynas yn bwysig iawn ar gyfer datblygu targedau metel.
3、Datblygu dadansoddi aprofi technoleg
Mae purdeb uchel y targed yn golygu lleihau amhureddau. Yn y gorffennol, defnyddiwyd plasma wedi'i gyplysu'n anwythol (ICP) a sbectrometreg amsugno atomig i bennu amhureddau, ond yn ystod y blynyddoedd diwethaf, defnyddiwyd dadansoddiad ansawdd gollwng glow (GDMS) gyda sensitifrwydd uwch yn raddol fel y safon. dull. Defnyddir y dull RRR gymhareb gwrthiant gweddilliol yn bennaf ar gyfer pennu purdeb trydanol. Ei egwyddor benderfynu yw gwerthuso purdeb metel sylfaen trwy fesur graddau gwasgariad electronig amhureddau. Oherwydd ei fod i fesur y gwrthiant ar dymheredd ystafell a thymheredd isel iawn, mae'n syml cymryd y rhif. Yn ystod y blynyddoedd diwethaf, er mwyn archwilio hanfod metelau, mae'r ymchwil ar burdeb uwch-uchel yn weithgar iawn. Yn yr achos hwn, gwerth RRR yw'r ffordd orau o werthuso'r purdeb.
Amser postio: Mai-06-2022