Fel y gwyddom i gyd, mae yna lawer o fanylebau o dargedau sputtering, ac mae eu meysydd cais hefyd yn eang iawn. Mae'r mathau o dargedau a ddefnyddir yn gyffredin mewn gwahanol feysydd hefyd yn wahanol. Heddiw, gadewch i ni ddysgu am ddosbarthiad meysydd cais targed sputtering gyda golygydd RSM!
1 、 Diffiniad o darged sputtering
Sputtering yw un o'r prif dechnolegau ar gyfer paratoi deunyddiau ffilm tenau. Mae'n defnyddio'r ïonau a gynhyrchir gan y ffynhonnell ïon i gyflymu a chasglu mewn gwactod i ffurfio trawst ïon cyflym, peledu'r wyneb solet, ac mae'r ïonau'n cyfnewid egni cinetig â'r atomau ar yr arwyneb solet, fel bod yr atomau ar y solet wyneb yn cael eu gwahanu oddi wrth y solet a adneuwyd ar wyneb y swbstrad. Y solet wedi'i beledu yw'r deunydd crai ar gyfer paratoi'r ffilm denau a adneuwyd gan sputtering, a elwir yn sputtering target.
2 、 Dosbarthiad meysydd cais targed sputtering
1. targed lled-ddargludyddion
(1) Targedau cyffredin: mae targedau cyffredin yn y maes hwn yn cynnwys metelau pwynt toddi uchel fel tantalwm / copr / titaniwm / alwminiwm / aur / nicel.
(2) Defnydd: a ddefnyddir yn bennaf fel deunyddiau crai allweddol ar gyfer cylchedau integredig.
(3) Gofynion perfformiad: gofynion technegol uchel ar gyfer purdeb, maint, integreiddio, ac ati.
2. Targed ar gyfer arddangos panel fflat
(1) Targedau cyffredin: mae targedau cyffredin yn y maes hwn yn cynnwys alwminiwm / copr / molybdenwm / nicel / Niobium / silicon / cromiwm, ac ati.
(2) Defnydd: defnyddir y math hwn o darged yn bennaf ar gyfer gwahanol fathau o ffilmiau ardal fawr megis setiau teledu a llyfrau nodiadau.
(3) Gofynion perfformiad: gofynion uchel ar gyfer purdeb, arwynebedd mawr, unffurfiaeth, ac ati.
3. Deunydd targed ar gyfer cell solar
(1) Targedau cyffredin: alwminiwm / copr / molybdenwm / cromiwm / ITO / Ta a thargedau eraill ar gyfer celloedd solar.
(2) Defnydd: a ddefnyddir yn bennaf mewn "haen ffenestr", haen rhwystr, electrod a ffilm dargludol.
(3) Gofynion perfformiad: gofynion technegol uchel ac ystod eang o gymwysiadau.
4. Targed ar gyfer storio gwybodaeth
(1) Targedau cyffredin: targedau cyffredin cobalt / nicel / ferroalloy / cromiwm / tellurium / seleniwm a deunyddiau eraill ar gyfer storio gwybodaeth.
(2) Defnydd: defnyddir y math hwn o ddeunydd targed yn bennaf ar gyfer y pen magnetig, haen ganol a haen waelod gyriant optegol a disg optegol.
(3) Gofynion perfformiad: mae angen dwysedd storio uchel a chyflymder trosglwyddo uchel.
5. Targed ar gyfer addasu offer
(1) Targedau cyffredin: targedau cyffredin fel aloi alwminiwm titaniwm / zirconium / cromiwm wedi'u haddasu gan offer.
(2) Defnydd: a ddefnyddir fel arfer ar gyfer cryfhau wyneb.
(3) Gofynion perfformiad: gofynion perfformiad uchel a bywyd gwasanaeth hir.
6. Targedau ar gyfer dyfeisiau electronig
(1) Targedau cyffredin: targedau aloi alwminiwm / silicid cyffredin ar gyfer dyfeisiau electronig
(2) Pwrpas: a ddefnyddir yn gyffredinol ar gyfer gwrthyddion a chynwysorau ffilm tenau.
(3) Gofynion perfformiad: maint bach, sefydlogrwydd, cyfernod tymheredd ymwrthedd isel
Amser postio: Gorff-27-2022