S rozvojem průmyslové technologie je také stále vyšší a vyšší kvalita terčů potřebná pro průmyslovou výrobu, protože kvalita terčů přímo ovlivňuje výkon magnetronových naprašovacích filmů.V dnešní době podniky při nákupu terčů obecně upřednostňují použití vysokohustotních terčů s jednotnou strukturou složení pro naprašovací povlak, aby se omezilo vícenásobné sešívání terčů a zlepšila kvalita naprašovacích povlaků. To vyžaduje, aby výrobce terče přísně řídit kvalitu cíle. Nyní nechte editora PekinguRichmatvám umožní pochopit, jaké faktory ovlivňují kvalitu cíle.
1、Vliv parametrů procesu na kvalitu cíle
Mezi procesní parametry patří především tlak lisování za studena, rychlost tlakování a rychlost vyjímání z formy a další parametry.Když je terč lisován za studena, tlak přímo ovlivní kvalitu cílového polotovaru;Rychlost natlakování má velký vliv na stratifikaci cílového polotovaru a počáteční stav, kdy je prášek rovnoměrně naplněn do negativní formy, je laxní stav, který má mnoho pórů a plynů a vypouštění plynů trvá dobu čas.
2、TheVliv plísní na cílovou kvalitu
Forma má také určitý vliv na tvarování cílového polotovaru. Mezi hlavní ovlivňující faktory patří povrchová úprava vnitřní strany formy, mezera mezi lisovníkem a dutinou formy atd. pokud je mezera příliš velká, dojde k stékání prášku a úniku prášku, což způsobí, že mezní hustota nízká hladina blanku a problémy s kvalitou, jako je padání hrany při vyjímání z formy.
3、Vliv vlhkosti materiálu na kvalitu terče
Vlhkost obsažená v prášku cílového materiálu je ekvivalentní účinku lubrikantu a její přítomnost může snížit tření mezi částicemi, což přispívá k účinnému přenosu tlaku lisování za studena a také přispívá k hladkému prokluzu a přeskupení mezi částicemi prášku.Pokud je však obsah vody příliš malý nebo příliš vysoký, ovlivní to kvalitu cíle.
Když je obsah vody v prášku ITO menší než 2 %, pravděpodobnost problémů s kvalitou, jako je ztráta hran a delaminace cílového materiálu, se výrazně zvýší, když jsou jiné podmínky, jako je tlak lisování za studena a obsah pojiva, stejné. obsah v prášku ITO je více než 10 %, při stejném lisovacím tlaku za studena, obsahu pojiva a dalších podmínkách, ačkoli částice prášku snadněji klouzají a přeskupují se, voda je vypouštěna z vnitřku formy, což způsobí problém pádu okraje kolem polotovaru cílový materiál.Výsledky ukazují, že když je obsah vody v prášku mezi 3 % a 6 %, je kvalita polotovaru účinně kontrolována.
4、Vliv obsahu pojiva na cílovou kvalitu
Množství začleněného pojiva má velký vliv na kvalitu cílového materiálu. Když je množství začlenění menší než 1 %, bude mít cílový polotovar velmi vážný problém s kvalitou, v tuto chvíli se účinek pojiva neprojeví a má malý vliv na zlepšení pevnosti cílového polotovaru. zvýšení začlenění pojiva na 2 % a 3 %, pevnost materiálu terče se zvýší a problém s kvalitou materiálu terče se značně sníží. Když je však pojivo zabudováno na 4 %, ačkoliv problém s kvalitou za studena lisovaného polotovaru materiálu terče zmizí, materiál terče se příležitostně delaminuje během následného procesu vyjímání z formy.
Čas odeslání: 22. dubna 2022