S rostoucí poptávkou na trhu se neustále aktualizuje stále více typů naprašovacích terčů. Některé jsou zákazníkům známé a některé neznámé. Nyní bychom se s vámi rádi podělili o typy magnetronových naprašovacích terčů.
Naprašovací terče mají následující typy: kovový naprašovací terč, slitinový naprašovací terč, keramický naprašovací terč, boridový keramický naprašovací terč, karbidový keramický naprašovací terč, fluoridový keramický naprašovací terč, nitridový keramický terč, oxidový keramický terč, selenidový keramický naprašovací terč , silicidový keramický naprašovací terč, sulfidový keramický naprašovací terč, teluridový keramický naprašovací terč, ostatní keramické terče, chrom dopovaný keramický terč z oxidu křemíku (CR SiO), terčík z fosfidu india (INP), terčík z arsenidu olovnatého (pbas), terčík z arsenidu india (InAs).
Magnetronové naprašování se obecně dělí na dva typy: DC naprašování a RF naprašování. Princip stejnosměrného naprašovacího zařízení je jednoduchý a jeho rychlost je také rychlá při naprašování kovu. RF naprašování je široce používáno. Kromě naprašování vodivých dat dokáže rozprášit i nevodivá data. Současně rozprašovací terč také provádí reaktivní naprašování pro přípravu dat sloučenin, jako jsou oxidy, nitridy a karbidy. Pokud se frekvence RF zvýší, stane se mikrovlnným plazmovým rozprašováním. V současnosti se běžně používá mikrovlnné plazmové naprašování elektronovou cyklotronovou rezonancí (ECR).
Čas odeslání: 18. května 2022