1、 Příprava naprašováním
Je velmi důležité udržovat vakuovou komoru, zejména naprašovací systém, v čistotě. Jakékoli zbytky vytvořené mazacím olejem, prachem a předchozím nátěrem budou shromažďovat vodní páru a další znečišťující látky, které přímo ovlivní stupeň vakua a zvýší možnost selhání tvorby filmu. Zkrat nebo jiskření terče, drsný povrch filmu a nadměrný obsah chemických nečistot jsou často způsobeny nečistou naprašovací komorou, naprašovací pistolí a terčem. Aby se dodržely charakteristiky složení povlaku, je nutné vyčistit a vysušit rozprašovací plyn (argon nebo kyslík). Poté, co je substrát instalován v naprašovací komoře, je třeba odsát vzduch, aby se dosáhlo vakua, které proces vyžaduje. Stínící kryt v tmavé oblasti, stěna dutiny a přilehlý povrch musí být také udržovány v čistotě. Při čištění vakuové komory doporučujeme používat k ošetření zaprášených částí tryskání skleněnými kuličkami, společně se stlačeným vzduchem k odstranění raných zbytků rozprašování v okolí komory a následné tiché vyleštění vnějšího povrchu brusným papírem impregnovaným oxidem hlinitým. Po vyleštění se gázový papír očistí alkoholem, acetonem a deionizovanou vodou. Společně prosazuje použití průmyslového vysavače pro pomocné čištění. Terče vyráběné kovem Gaozhan jsou baleny ve vakuově uzavřených plastových sáčcích,
Vestavěný prostředek odolný proti vlhkosti. Při použití terče se prosím nedotýkejte terče přímo rukou. Poznámka: Při používání terče používejte čisté rukavice pro údržbu, které nepouštějí vlákna. Nikdy se nedotýkejte cíle přímo rukama
2、 Cílové čištění
Účelem čištění terče je odstranit prach nebo nečistoty, které mohou existovat na povrchu terče.
Kovový terč lze vyčistit ve čtyřech krocích,
Prvním krokem je čištění měkkým hadříkem, který nepouští vlákna, namočeným v acetonu;
Druhý krok je podobný prvnímu, čištění alkoholem;
Krok 3: Vyčistěte deionizovanou vodou. Po umytí deionizovanou vodou vložte terč do trouby a sušte jej při 100 ℃ po dobu 30 minut.
Čištění oxidových a keramických terčů se provádí „utěrkou, která nepouští vlákna“.
Čtvrtým krokem je omytí terče argonem s vysokým tlakem a nízkým obsahem vodního plynu po odstranění prašné oblasti, aby se odstranily všechny částice nečistot, které mohou tvořit oblouk v naprašovacím systému.
3、 Cílové zařízení
V procesu instalace terče jsou důležitá opatření k zajištění dobrého tepelného spojení mezi terčem a chladicí stěnou naprašovací pistole. Pokud je deformace chladicí lamely závažná nebo deformace zadní desky je závažná, cílové zařízení praskne nebo se ohne a tepelná vodivost od zadního terče k terči bude značně ovlivněna, což má za následek selhání odvodu tepla. v procesu naprašování a terč praskne nebo mine
Aby byla zajištěna tepelná vodivost, může být mezi chladicí stěnu katody a terč vycpána vrstva grafitového papíru. Věnujte prosím pozornost pečlivé kontrole a vyjasnění rovinnosti chladicí stěny použité naprašovací pistole, aby bylo zajištěno, že je O-kroužek vždy na svém místě.
Vzhledem k tomu, že čistota použité chladicí vody a prach, který se může vyskytnout během provozu zařízení, se bude usazovat v nádrži na chladicí vodu katody, je nutné při instalaci terče zkontrolovat a vyčistit nádrž na chladicí vodu katody, aby byla zajištěna hladká cirkulaci chladicí vody a že nebude blokován vstup a výstup.
U některých katod je plánován malý prostor s anodou, takže při instalaci terče je nutné zajistit, aby mezi katodou a anodou nebyl žádný dotyk nebo vodič, jinak dojde ke zkratu.
Informace o správném ovládání terče naleznete v návodu k obsluze zařízení. Pokud v uživatelské příručce žádná taková informace není, pokuste se nainstalovat zařízení podle příslušných doporučení poskytnutých společností Gaozhan metal. Při utahování cílového přípravku nejprve ručně utáhněte jeden šroub a poté rukou utáhněte další šroub na diagonále. Tento postup opakujte, dokud nebudou všechny šrouby na zařízení utaženy, a poté něčím dotáhněte.
4、 Kontrola zkratu a těsnosti
Po dokončení cílového zařízení je nutné zkontrolovat zkrat a těsnost celé katody,
Zda došlo ke zkratu na katodě, se navrhuje zjistit pomocí měřiče odporu
Řádková diskriminace. Po potvrzení, že v katodě nedochází ke zkratu, lze provést detekci úniku a do katody lze přivést vodu, aby se potvrdilo, zda dochází k úniku vody.
5、 Předběžné naprašování cíle
Předběžné naprašování terče zastává naprašování čistého argonu, které dokáže vyčistit povrch terče. Když je terč předem naprášen, doporučuje se pomalu zvyšovat naprašovací výkon a rychlost nárůstu výkonu keramického terče je 1,5 WH / cm2. Rychlost předběžného naprašování kovového terče může být vyšší než u keramického terče a přiměřená rychlost zvýšení výkonu je 1,5 WH / cm2.
V procesu předběžného naprašování musíme zkontrolovat oblouk terče. Doba předběžného naprašování je obecně asi 10 minut. Pokud nedochází k žádnému jevu oblouku, plynule zvyšujte výkon rozprašování
Do nastaveného výkonu. Podle zkušeností je přijatelný Z vysoký rozprašovací výkon kovového terče
25 wattů / cm2, 10 wattů / cm2 pro keramický terč. Prostudujte si základ nastavení a zkušenosti s tlakem vakuové komory během naprašování v uživatelské příručce k systému. Obecně by mělo být zajištěno, že teplota vody na výstupu chladicí vody by měla být nižší než 35 ℃, ale Z je důležité zajistit, aby oběhový systém chladicí vody mohl efektivně fungovat
Rychlá cirkulace podchlazovací vody odebírá teplo, což je důležitou zárukou pro zajištění nepřetržitého rozprašování s vysokým výkonem. U kovových terčů se obecně doporučuje, aby proud chladicí vody byl
20lpm tlak vody je asi 5gmp; U keramických terčů se obecně doporučuje, aby průtok vody byl 30 lpm a tlak vody asi 9 gmp.
6、 Cílová údržba
Aby se zabránilo zkratu a jiskření způsobenému nečistou dutinou v procesu naprašování, je nutné odstraňovat rozprašovač nahromaděný ve středu a na obou stranách naprašovací dráhy po krocích,
To také pomáhá uživatelům nepřetržitě rozprašovat při vysoké hustotě výkonu
7、 Cílové úložiště
Terče poskytované kovem Gaozhan jsou baleny ve dvouvrstvých vakuových plastových sáčcích. Jsme zastáncem toho, aby uživatelé uchovávali terče, ať už kovové nebo keramické, ve vakuovém balení. Zejména musí být vazební terče skladovány ve vakuu, aby se zabránilo oxidaci vazebné vrstvy v ovlivnění kvality vazby. Pokud jde o balení kovových terčů, zastáváme názor, že Z by měl být balen do čistých plastových sáčků
Čas odeslání: 13. května 2022