Široké využití cílového materiálu v různých profesích zvyšuje poptávku po cílovém materiálu. Následující Budeme krátce představit Vy jaké jsou primární funkční požadavky cíle, hopIng abych vám pomohl.
Čistota: Čistota je jedním z primárních funkčních ukazatelů terče, protože čistota terče má velký vliv na funkci fólie. Ale v praxi není čistota cílového materiálu stejná. Například s rychlým růstem profese mikroelektroniky se velikost křemíkového plátku vyvinula z 6", 8" na 12" a šířka kabeláže se snížila z 0,5 um na 0,25 um, 0,18 um a dokonce na 0,13 um. Jakmile 99,995 % cílové čistoty může splnit technologické požadavky 0,35 UMIC. Příprava 0,18um linie vyžaduje 99,999% nebo dokonce 99,9999% čistotu cílového materiálu.
Hustota: Aby se snížila poréznost v pevné látce terče a zlepšila se funkce naprašovacího filmu, je obvykle požadováno, aby terč měl vysokou hustotu. Cílová hustota ovlivňuje nejen rychlost rozprašování, ale také elektrické a optické vlastnosti filmů. Čím vyšší je hustota terče, tím lepší je funkce filmu. Navíc byla zvýšena hustota a pevnost materiálu terče, aby lépe odolával tepelnému namáhání během naprašování. Hustota je také jedním z důležitých funkčních ukazatelů cílových látek.
Obsah nečistot: nečistoty v cílové pevné látce a kyslík a vodní pára v pórech jsou primárními zdroji znečištění akumulovaných filmů. Různé materiály terče pro různé účely mají různé požadavky na různý obsah nečistot. Například terče z čistého hliníku a slitin hliníku používané v polovodičovém průmyslu mají speciální požadavky na obsah alkalických kovů a obsah radioaktivních prvků.
Čas odeslání: Jun-06-2022