Niobové cílové materiály se používají hlavně v optických nátěrech, nátěrech povrchových technických materiálů a nátěrových průmyslech, jako je tepelná odolnost, odolnost proti korozi a vysoká vodivost. V oblasti optického povlaku se používá zejména v očních optických produktech, čočkách, přesné optice, velkoplošném povlaku, 3D povlaku a dalších aspektech.
Niobový terčový materiál se obvykle nazývá holý terč. Nejprve se přivaří k měděnému zadnímu terči a poté se napráší, aby se na substrátový materiál uložily atomy niobu ve formě oxidů, čímž se dosáhlo naprašování. S neustálým prohlubováním a rozšiřováním technologie a aplikace niobových terčů se požadavky na jednotnost mikrostruktury niobových terčů zvýšily, což se projevilo především ve třech aspektech: zjemnění velikosti zrna, žádná zjevná orientace textury a zlepšená chemická čistota.
Rovnoměrná distribuce mikrostruktury a vlastností v celé terči je rozhodující pro zajištění naprašovacího výkonu materiálů niobové terče. Povrch niobových terčů, se kterými se setkáváme v průmyslové výrobě, obvykle vykazuje pravidelné vzory, které značně ovlivňují výkon terčů naprašováním. Jak můžeme zlepšit míru využití cílů?
Prostřednictvím výzkumu bylo zjištěno, že obsah nečistot (cílová čistota) je důležitým faktorem ovlivňujícím čistotu. Chemické složení surovin je nerovnoměrné a nečistoty jsou obohaceny. Po pozdějším válcování se na povrchu materiálu niobové terče vytvoří pravidelné vzory; Odstraněním nerovnoměrné distribuce složek surovin a obohacení nečistotami lze předejít tvorbě pravidelných vzorů na povrchu niobových terčů. Vliv velikosti zrna a strukturního složení na cílový materiál může být téměř zanedbatelný.
Čas odeslání: 19. června 2023