Jak zlepšit míru využití molybdenových terčových materiálů

Naprašované molybdenové terče byly široce používány v elektronickém průmyslu, solárních článcích, skleněných nátěrech a dalších oblastech díky jejich přirozeným výhodám. S rychlým rozvojem moderních technologií v oblasti miniaturizace, integrace, digitalizace a inteligence bude používání molybdenových terčů nadále narůstat a požadavky na jejich kvalitu budou také stále vyšší. Musíme tedy najít způsoby, jak zlepšit míru využití molybdenových cílů. Nyní editor RSM představí několik metod pro zlepšení míry využití naprašovacích molybdenových terčů pro každého

1. Přidejte elektromagnetickou cívku na zadní stranu

Aby se zlepšila míra využití naprašovaného molybdenového terče, může být přidána elektromagnetická cívka na zadní stranu planárního magnetronového naprašovacího molybdenového terče a magnetické pole na povrchu molybdenového terče může být zvýšeno zvýšením proudu elektromagnetickou cívku, aby se zlepšila míra využití molybdenového terče.

2. Vyberte materiál trubkového rotačního terče

Ve srovnání s plochými terči zdůrazňuje volba trubkové rotační terčové konstrukce její podstatné výhody. Obecně je míra využití plochých terčů pouze 30 % až 50 %, zatímco míra využití trubkových rotačních terčů může dosáhnout více než 80 %. Navíc při použití rotačního magnetronového rozprašovacího terče s dutou trubicí, protože se terč může neustále otáčet kolem sestavy pevného tyčového magnetu, nedojde k opětovnému usazení na jeho povrchu, takže životnost rotačního terče je obecně více než 5krát delší. než u letadlového cíle.

3. Vyměňte za nové naprašovací zařízení

Klíčem ke zlepšení míry využití terčových materiálů je dokončení výměny naprašovacího zařízení. Během procesu naprašování materiálu molybdenové rozprašovací elektrody se asi jedna šestina atomů rozprašování po zásahu vodíkovými ionty usadí na stěně vakuové komory nebo držáku, což zvyšuje náklady na čištění vakuového zařízení a prostoje. Výměna nového naprašovacího zařízení tedy může také pomoci zlepšit míru využití naprašovacích molybdenových terčů.