V současné době jsou téměř všechny vysoce kvalitní kovové měděné terče o vysoké čistotě požadované průmyslem IC monopolizovány několika velkými zahraničními nadnárodními společnostmi. Všechny ultračisté měděné terče potřebné pro domácí průmysl IC je třeba dovážet, což je nejen drahé, ale také komplikované v dovozních postupech. Proto Čína naléhavě potřebuje zlepšit vývoj a ověřování měděných naprašovacích terčů s ultravysokou čistotou (6N). . Podívejme se na klíčové body a úskalí ve vývoji měděných naprašovacích terčů s ultra vysokou čistotou (6N).
1、Vývoj materiálů s ultra vysokou čistotou
Technologie čištění vysoce čistých kovů Cu, Al a Ta v Číně je daleko od technologie v průmyslově vyspělých zemích. V současné době většina vysoce čistých kovů, které lze poskytnout, nemůže splňovat požadavky na kvalitu integrovaných obvodů pro naprašovací terče podle konvenčních metod analýzy všech prvků v průmyslu. Počet inkluzí v cíli je příliš vysoký nebo nerovnoměrně rozložený. Během naprašování se na plátku často tvoří částice, což vede ke zkratu nebo přerušení obvodu propojení, což vážně ovlivňuje výkon filmu.
2、Vývoj technologie přípravy měděných naprašovacích terčů
Vývoj technologie přípravy měděného naprašovacího terče se zaměřuje především na tři aspekty: velikost zrna, kontrolu orientace a jednotnost. Polovodičový průmysl má nejvyšší požadavky na naprašovací terče a odpařovací suroviny. Má velmi přísné požadavky na kontrolu zrnitosti povrchu a krystalové orientace terče. Velikost zrna terče musí být řízena na 100μ M níže je proto kontrola velikosti zrn a prostředky korelační analýzy a detekce velmi důležité pro vývoj kovových terčů.
3、Vývoj analýzy atestování technologie
Vysoká čistota terče znamená redukci nečistot. V minulosti se pro stanovení nečistot používalo indukčně vázané plazma (ICP) a atomová absorpční spektrometrie, ale v posledních letech se postupně jako standard používá analýza kvality doutnavého výboje (GDMS) s vyšší citlivostí. metoda. Metoda poměru zbytkového odporu RRR se používá především pro stanovení elektrické čistoty. Principem jeho stanovení je hodnocení čistoty obecného kovu měřením stupně elektronové disperze nečistot. Protože jde o měření odporu při pokojové teplotě a velmi nízké teplotě, je snadné vzít číslo. S cílem prozkoumat podstatu kovů je v posledních letech velmi aktivní výzkum ultra vysoké čistoty. V tomto případě je hodnota RRR nejlepším způsobem hodnocení čistoty.
Čas odeslání: květen-06-2022