V posledních letech se s pokrokem technologie integrovaných obvodů (IC) rychle rozvíjely související aplikace integrovaných obvodů. Naprašovací terč z hliníkové slitiny s ultra vysokou čistotou, jako podpůrný materiál při výrobě kovových propojení integrovaných obvodů, se stal horkým tématem posledního domácího výzkumu. editor RSM nám ukáže vlastnosti naprašovacího terče z vysoce čisté hliníkové slitiny.
Aby se dále zlepšila naprašovací účinnost magnetronové rozprašovací elektrody a zajistila se kvalita nanášených filmů, velké množství experimentů ukazuje, že existují určité požadavky na složení, mikrostrukturu a orientaci zrn rozprašovací elektrody z hliníkové slitiny ultra vysoké čistoty.
Velikost zrna a orientace zrna terče mají velký vliv na přípravu a vlastnosti IC filmů. Výsledky ukazují, že rychlost depozice klesá s rostoucí velikostí zrna; Pro rozprašovací elektrodu se stejným složením je rychlost rozprašování elektrody s malou velikostí zrna vyšší než u elektrody s velkou velikostí zrna; Čím rovnoměrnější je velikost zrna terče, tím rovnoměrnější je rozložení tloušťky nanesených filmů.
Při stejném naprašovacím přístroji a stejných parametrech procesu se rychlost naprašování terče ze slitiny Al Cu zvyšuje se zvyšováním atomové hustoty, ale je obecně stabilní v určitém rozsahu. Vliv velikosti zrna na rychlost naprašování je způsoben změnou atomové hustoty se změnou velikosti zrna; Rychlost depozice je ovlivněna především orientací zrn terče ze slitiny Al Cu. Na základě zajištění podílu (200) krystalových rovin, zvýšení podílu (111), (220) a (311) krystalových rovin zvýší depoziční rychlost.
Velikost zrna a orientace zrna terčů z hliníkové slitiny s ultra vysokou čistotou jsou hlavně upravovány a řízeny homogenizací ingotů, zpracováním za tepla a rekrystalizačním žíháním. S vývojem velikosti plátku na 20,32 cm (8 palců) a 30,48 cm (12 palců) se také zvětšuje velikost terče, což klade vyšší požadavky na naprašovací terče z hliníkové slitiny s ultra vysokou čistotou. Aby byla zajištěna kvalita filmu a výtěžnost, musí být cílové parametry zpracování přísně kontrolovány, aby byla cílová mikrostruktura jednotná a orientace zrna musí mít silné (200) a (220) rovinné textury.
Čas odeslání: 30. června 2022