Praskliny v naprašovacích terčích se obvykle vyskytují v keramických naprašovacích terčích, jako jsou oxidy, karbidy, nitridy a křehké materiály, jako je chrom, antimon, vizmut. Nyní nechte technické experty RSM vysvětlit, proč rozprašovací terč praská a jaká preventivní opatření lze přijmout, aby se této situaci zabránilo.
Keramické terče nebo terče z křehkého materiálu vždy obsahují vlastní napětí. Tato vnitřní napětí vznikají v cílovém výrobním procesu. Navíc tato napětí nejsou zcela eliminována procesem žíhání, protože jsou vlastní charakteristikou těchto materiálů. V procesu rozprašování přenáší bombardování plynovými ionty jejich hybnost na cílové atomy a poskytuje jim dostatek energie k jejich oddělení od mřížky. Tento exotermický přenos hybnosti způsobuje zvýšení cílové teploty, která může dosáhnout 1000000 ℃ na atomové úrovni.
Tyto tepelné šoky mnohonásobně zvyšují existující vnitřní napětí v cíli. V tomto případě, pokud není teplo správně odváděno, může dojít k rozbití terče. Aby se zabránilo prasknutí terče, je třeba klást důraz na odvod tepla. K odstranění nežádoucí tepelné energie z cíle je zapotřebí vodní chladicí mechanismus. Dalším problémem, který je třeba zvážit, je zvýšení výkonu. Příliš mnoho energie aplikované v krátké době také způsobí tepelný šok na cíl. Kromě toho navrhujeme navázání těchto terčů na základní desku, což může nejen poskytnout podporu pro terč, ale také podporovat lepší výměnu tepla mezi terčem a vodou. Pokud má terč praskliny, ale je spojen se zadní deskou, lze jej stále používat.
Společnost Rich Special Materials Co., Ltd. může poskytnout naprašovací terče se základní deskou. Může být přizpůsoben podle požadavků zákazníků na materiál, tloušťku a typ lepení.
Čas odeslání: 21. září 2022