Společnost Rich Special Material Co., Ltd. může vyrábět naprašovací terče z vysoce čistého hliníku, měděné naprašovací terče, tantalové naprašovací terče, titanové naprašovací terče atd. pro polovodičový průmysl.
Polovodičové čipy mají vysoké technické požadavky a vysoké ceny pro naprašovací terče. Jejich požadavky na čistotu a technologii naprašovacích terčů jsou vyšší než u plochých displejů, solárních článků a dalších aplikací. Polovodičové čipy stanovují extrémně přísné standardy na čistotu a vnitřní mikrostrukturu naprašovacích terčů. Pokud je obsah nečistot v rozprašovací elektrodě příliš vysoký, vytvořený film nemůže splňovat požadované elektrické vlastnosti. V procesu naprašování je snadné vytvořit částice na plátku, což má za následek zkrat nebo poškození obvodu, což vážně ovlivňuje výkon filmu. Obecně řečeno, pro výrobu čipů je vyžadována nejvyšší čistota naprašovacího cíle, která je obvykle 99,9995 % (5N5) nebo vyšší.
Naprašovací terče se používají pro výrobu bariérových vrstev a obalových kovových elektroinstalačních vrstev. V procesu výroby waferů se terč používá hlavně k výrobě vodivé vrstvy, bariérové vrstvy a kovové mřížky waferu. V procesu balení čipů se rozprašovací terč používá k vytváření kovových vrstev, vrstev elektroinstalace a dalších kovových materiálů pod hrbolky. Ačkoli je množství cílových materiálů používaných při výrobě plátků a balení čipů malé, podle statistik SEMI představují náklady na cílové materiály při výrobě a balení plátků přibližně 3 %. Kvalita naprašovacího terče však přímo ovlivňuje rovnoměrnost a výkon vodivé vrstvy a bariérové vrstvy, čímž ovlivňuje přenosovou rychlost a stabilitu čipu. Proto je naprašovací elektroda jednou ze základních surovin pro výrobu polovodičů
Čas odeslání: 16. listopadu 2022