Za účelem podpory výroby piezoelektrických MEMS (pMEMS) senzorů a radiofrekvenčních (RF) filtrů se slitina hliníku skandiem vyráběná společností Rich Special Material Co., Ltd. používá speciálně pro reaktivní nanášení filmů z nitridu hliníku dopovaného skandiem. .
Tenkovrstvé piezoelektrické materiály se stále více používají v automobilovém, průmyslovém a osobním elektronickém vybavení. Aplikace zahrnují snímače otisků prstů na bázi pmt a zařízení pro rozpoznávání gest, mikrofony MEMS, chemické senzory založené na rezonátorech a lékařské senzory. Kromě toho jsou filmy z nitridu hliníku dopovaného skandiem stále více potřeba k realizaci RF filtrů pro aplikace v sítích 5G. Současně se zvyšuje množství slitiny hliníku skandiem.
Vlastnosti Al Sc Alloy
Vysoce konzistentní chemická homogenita v celé slitině
Vysoce konzistentní chemická homogenita filmu po celou dobu životnosti čipu a slitiny
Čistota > 99,9 %, nízký obsah kyslíku, nízký kritický obsah znečišťujících látek
Přísně kontrolujte mikrostrukturu, abyste dosáhli nejlepšího výkonu naprašování
Vakuově litá, plně hutná slitina s nízkou adhezí, nízkou variabilitou a nízkou zrnitostí
Rich Special Material Co., Ltd. podporuje různé tavení slitin, přizpůsobení cíle a služby výzkumu a vývoje.
Čas odeslání: 11. listopadu 2022