Technický konzultant RSM se s vámi podělí o výhody válcových a planárních magnetronových naprašovacích terčů? Ve srovnání s jinými magnetronovými naprašovacími terči si válcové a rovinné magnetronové naprašovací terče zachovávají výhody dobré rovnoměrnosti povlaku pravoúhlých planárních terčů a mohou maximalizovat využití terčů následujícími dvěma způsoby:
(1) Když dvě skupiny (čtyři) prstencových jamek na povrchu terče dosáhnou určité hloubky, lze jádro terče (část magnetu) otočit o 45° vzhledem k trubici terče, takže ostatní oblasti na trubici terče které nejsou zkorodované, lze použít;
(2) Pokud je jádro terče válcového a planárního magnetronového naprašovacího terče navrženo jako rotační jádro terče (jádro terče se při naprašování otáčí), lze povrch terče rovnoměrně odprašovat vrstvu po vrstvě bez důlků. V tomto okamžiku bude terč využíván nejúčinněji a míra využití terče může dosáhnout 50 % ~ 60 % Pokud je materiál terče drahý kov, má to samozřejmě velký význam.
Použitím principu magnetu s pólovou patkou v koaxiálním válcovém magnetronovém rozprašovacím terči k vyřešení problému koncového magnetického pole lze pravoúhlý rovinný terč přeměnit na válcový a rovinný magnetronový naprašovací terč, terč může maximalizovat míru využití terče při zachování dobré rovnoměrnosti povlaku pravoúhlého rovinného terče, aby se zlepšily ekonomické výhody.
Čas odeslání: Červenec-04-2022