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Chì sò i roli di u sputtering target in u vacuum coating

Vacuum plating in a selezzione di materiali di destinazione di sputtering hè statu un prublema per a ghjente, in u mumentu, cum'è u revestimentu di sputtering, in particulare u sviluppu di e cumpetenze di revestimentu di sputtering magnetron, pò esse dichjaratu per ogni infurmazione per esse capace di destinazione a preparazione di materiale di film sottili. da u bumbardamentu di ioni, perchè sputtering materiale di destinazione in u prucessu di u revestimentu à u tipu di sustrato, hà un effettu impurtante nantu à a qualità di sputtering. film, Per quessa, i requisiti di materiale di destinazione sò più stretti. Quì ampararemu nantu à u rolu di u mira di sputtering in u vacuum coating inseme cù l'editore di Beijing Relaxation

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一、Principiu di selezzione è classificazione di materiale di destinazione

In a selezzione di u materiale di destinazione, in più di l'usu di u film stessu deve esse sceltu, i seguenti prublemi anu ancu esse cunsideratu:

Prublemu 1. Sicondu i bisogni di l'usu è di u funziunamentu di a membrana, hè necessariu per u materiale di destinazione per risponde à i requisiti tecnichi di purità, cuntenutu di rivista, uniformità di cumpunenti, precisione di machining è cusì.

Prublemu 2. U materiale di destinazione deve avè una bona forza meccanica è stabilità chimica dopu a furmazione di film;

Prublemu 3. Hè necessariu per u materiale di film per generà film compostu facilmente cù u gasu di reazione cum'è a film sputtering reattivu;

Prublemu 4. Hè necessariu di stabilisce u mira è a matrice per esse forte, altrimenti, u materiale di film cù una bona aderenza cù a matrice deve esse aduttatu, prima sputter una capa di film di fondu è dopu preparanu a capa di film necessaria;

Quistione 5. In u premiu di scuntrà i bisogni di u rendiment di a film, più chjuca hè a diffarenza trà u coefficient di espansione termale di u mira è a matrice, u megliu, per riduce l'influenza di u stress termale di a film sputtering;

Preparazione di parechji miri cumunimenti usati

(1) cr target

Chromium cum'è un materiale di film sputtering ùn hè micca solu fàciule à cumminà cù u materiale di basa hà una alta aderenza, è cromu è ossidu film CrQ3, i so proprietà meccanica, resistenza à l'acidu è stabilità termale sò megliu.

Beijing Ruichi High-tech Co., Ltd. impegnata principalmente in: target di zirconiu di titaniu, target d'aluminiu, target di nichel, target di cromu, target di tungstenu, target di molibdenu, target di rame, target di siliciu, target di niobium, target di tantalu, lega di titaniu-silicuu. target, target di lega di titaniu-niobium, target di lega di titaniu-tungstenu, target di lega di titaniu-zirconiu, Obiettivu di lega di nichel-cromu, target di lega di silice-aluminiu, target di lega di nichel-vanadiu, target di lega ternaria di cromu-aluminiu-silicuu, materiale di destinazione in lega ternaria di Ti al si, largamente utilizatu in a decorazione / superficia dura è rivestimentu funziunale, vetru architettonicu, pianu mostra / fotoelettricu otticu, almacenamentu otticu, elettronica, stampa è altre professioni.


Tempu di posta: 02-02-2022