1 、 Preparazione sputtering
Hè assai impurtante di mantene a camera di vacuum, in particulare u sistema di sputtering pulito. Ogni residuu furmatu da l'oliu lubrificante, a polvera è u revestimentu precedente cullerà u vapore d'acqua è altri contaminanti, chì affettanu direttamente u gradu di vacuum è aumentanu a pussibilità di fallimentu filmatu. Cortu circuitu o arcu di mira, a superficia di film rugosa è u cuntenutu eccessivu di impurità chimica sò spessu causati da una camera di sputtering impura, una pistola sputtering è un target. Per aderisce à e caratteristiche di a cumpusizioni di u revestimentu, hè necessariu di pulizziari è seccu u gasu sputtering (argon o ossigenu). Dopu chì u sustrato hè stallatu in a camera di sputtering, l'aria deve esse estratta per ghjunghje à u vacuum necessariu da u prucessu. A tappa di schermatura in l'area scura, u muru di a cavità è a superficia adiacente deve ancu esse mantenuta pulita. Quandu si pulisce a camera di vacuum, ricumandemu l'usu di sfera di vetru per trattà e parti polverose, inseme cù l'aria compressa per caccià i primi residui di sputtering intornu à a camera, è poi pulisce tranquillamente a superficia esterna cù carta vetrata impregnata di allumina. Dopu a lucidatura di u paper di gasa, hè pulita cù l'alcohol, l'acetone è l'acqua deionizzata. Inseme, favurizeghja l'usu di l'aspiratore industriale per a pulizia ausiliaria. L'obiettivi pruduciuti da u metale Gaozhan sò imballati in sacchetti di plastica sigillati à vacuum,
Custruitu in un agentu resistente à l'umidità. Quandu si usa u mira, per piacè ùn toccu micca u mira direttamente cù a manu. Nota: quandu aduprate l'obbiettivu, portate guanti di mantenimentu puliti è senza pelucchi. Ùn mai toccu u mira direttamente cù e vostre mani
2 、 Pulizia di destinazione
U scopu di a pulizia di u mira hè di sguassà a polvera o a terra chì pò esse in a superficia di u mira.
U mira di metallu pò esse pulita in quattru passi,
U primu passu hè di pulizziari cù un pannu suave senza pelucchi imbevutu in acetone;
U sicondu passu hè simile à u primu passu, a pulizia cù l'alcohol;
Passu 3: pulisce cù acqua deionizzata. Dopu avè lavatu cù l'acqua deionizzata, mette a mira in u fornu è secca à 100 ℃ per 30 minuti.
A pulizia di l'ossidi è di i target ceramichi deve esse realizatu cù "pannu senza pelucchi".
U quartu passu hè di lavà u mira cù l'argon cù alta pressione è gasu d'acqua bassu dopu avè sguassatu l'area polverosa, per caccià tutte e particelle impurità chì ponu formate arcu in u sistema di sputtering.
3 、 Dispositivu di destinazione
In u prucessu di stallazione di mira, Z pricauzzioni impurtanti sò à assicurà una bona cunnessione cunduzzione termale trà u mira è u muru di rinfrescante di a pistola sputtering. Se a deformazione di a stave di rinfrescante hè severa o a deformazione di a piastra posteriore hè severu, u dispusitivu di destinazione si romperà o si curvarà, è a conductività termale da u target back à u target serà assai affettata, risultatu in u fallimentu di dissipazione di calore. in u prucessu di sputtering, è u mira crack o miss
Per assicurà a conduttività termale, una strata di carta di grafite pò esse imbottita trà u muru di rinfrescante di catode è u mira. Per piacè fate attenzione à cuntrollà currettamente è fate chjaru a piattezza di u muru di rinfrescante di a pistola di sputtering utilizata per assicurà chì l'O-ring hè sempre in u locu.
Siccomu a pulizia di l'acqua di rinfrescante aduprata è a polvera chì pò accade durante u funziunamentu di l'equipaggiu seranu dipositate in u cisterna di l'acqua di rinfrescante di catode, hè necessariu di verificà è pulisce u cisterna di l'acqua di rinfrescante di catodu quandu si stalla u mira per assicurà a liscia. circulazione di l'acqua di rinfrescante è chì l'entrata è l'output ùn saranu micca bluccati.
Certi catodi sò previsti per avè un spaziu pocu cù l'anodu, cusì quandu si stallanu u mira, hè necessariu di assicurà chì ùn ci hè micca toccu o cunduttore trà u catodu è l'anodu, altrimenti un cortu circuitu accadurà.
Riferite à u Manuale di l'operatore di l'equipaggiu per infurmazioni nantu à cumu uperà u mira currettamente. Se ùn ci hè micca tali informazioni in u manuale d'utilizatore, pruvate à stallà u dispusitivu secondu i suggerimenti pertinenti furniti da Gaozhan metal. Quandu si stringhje l'attrezzatura di destinazione, strince prima un bullone cù a manu, è poi stringhje un altru bullone nantu à a diagonale cù a manu. Repetite questu finu à chì tutti i bulloni nantu à u dispusitivu sò stretti, è poi stringe cù qualcosa.
4 、 Cortu circuitu è ispezione di strettezza
Dopu à a fine di u dispusitivu di destinazione, hè necessariu di verificà u cortu circuitu è a strettezza di tuttu u catodu,
Hè prupostu di determinà s'ellu ci hè un cortu circuitu in u catodu usendu un metru di resistenza
Discriminazione di fila. Dopu avè cunfirmatu chì ùn ci hè micca un cortu circuitu in u catodu, a rilevazione di perdite pò esse realizatu, è l'acqua pò esse introduttu in u catodu per cunfirmà s'ellu ci hè una fuga d'acqua.
5 、 Target pre sputtering
Target pre sputtering favurevuli puri argon sputtering, chì pò pulisce a superficia di u mira. Quandu u mira hè pre sputtered, hè cunsigliatu per aumentà lentamente a putenza di sputtering, è a rata di crescita di putenza di u target ceramicu hè 1.5WH / cm2. A velocità di pre sputtering di u target metallicu pò esse più altu ch'è quella di u bloccu di destinazione ceramica, è un tassu d'aumentu di putenza raghjone hè 1.5WH / cm2.
In u prucessu di pre sputtering, avemu bisognu di verificà l'arcu di u mira. U tempu di pre sputtering hè generalmente di circa 10 minuti. Se ùn ci hè micca un fenomenu d'arcu, cresce continuamente a putenza di sputtering
À u putere stabilitu. Sicondu l'esperienza, l'accettabile Z altu putenza sputtering di mira di metallu hè
25 watts / cm2, 10 watts / cm2 per u target ceramicu. Per piacè riferite à a basa di l'impostazione è l'esperienza di a pressione di a camera di vacuum durante a sputtering in u manuale di operazione di u sistema di l'utilizatore. In generale, deve esse assicuratu chì a temperatura di l'acqua à l'outlet di l'acqua di rinfrescante deve esse più bassu di 35 ℃, ma Z hè impurtante per assicurà chì u sistema di circulazione di l'acqua di rinfrescante pò travaglià in modu efficace.
A circulazione rapida di l'acqua supercooling elimina u calore, chì hè una guaranzia impurtante per assicurà un sputtering cuntinuu cù alta putenza. Per i miri di metalli, hè generalmente favuritu chì u flussu di l'acqua di rinfrescante hè
A pressione di l'acqua 20lpm hè di circa 5gmp; Per i miri di ceramica, hè generalmente favuritu chì u flussu di l'acqua hè di 30 lpm è a pressione di l'acqua hè di circa 9 gmp.
6 、 Mantenimentu di destinazione
Per prevene u cortu circuitu è l'arcu causatu da una cavità impura in u prucessu di sputtering, hè necessariu di caccià a sputter accumulata in u centru è i dui lati di a pista di sputtering in tappe.
Stu aiuta dinù utilizatori à sputter continuu à z densità di putenza altu
7 、 Almacenamiento di destinazione
I miri furniti da u metale Gaozhan sò imballati in sacchetti di plastica di vacuum à doppia strata. Premudemu chì l'utilizatori mantenenu i miri, sia di metallu sia di ceramica, in imballaggi in vacuum. In particulare, i miri di ligame anu da esse almacenati in cundizioni di vacuum per impediscenu l'ossidazione di a capa di ligame da affettà a qualità di ligame. In quantu à l'imballaggio di i mira di metalli, avemu favuritu chì Z deve esse imballatu in sacchetti di plastica puliti
Tempu di Post: 13-May-2022