Prucessu di ubligatoriu:
1、 Cosa hè u vincolante? Si riferisce à l'usu di saldatura per saldare u materiale di destinazione à u mira di daretu. Ci sò trè metudi principali: crimping, brazing, è adesivu conduttivu. U ligame di destinazione hè comunmente utilizatu per a brasatura, è i materiali di brasatura sò generalmente In, Sn è In Sn. In generale, quandu sò usati materiali di brasatura morbida, a putenza di sputtering hè necessaria à esse menu di 20W / cm2.
2 、 Perchè ubligatoriu 1. Impedisce a frammentazione irregolare di i materiali di destinazione durante u riscaldamentu, cum'è l'ughjetti fragili cum'è ITO, SiO2, ceramica, è miri sinterizzati; 2. Salvà * * * è impedisce a deformazione. Se u materiale di destinazione hè troppu caru, pò esse fattu più diluente è ligatu à u target back per prevene a deformazione.
3 、 Selezzione di u mira di daretu: 1. Rich Special Materials Co., Ltd usa cumunimenti ramu senza ossigenu cù una bona cunductività, è a cunduttività termale di u ramu senza ossigenu hè megliu cà quellu di ramu rossu; 2. U gruixu hè moderatu, è in generale hè cunsigliatu per avè un gruixu di mira di circa 3mm. Troppu grossu, cunsumendu qualchì forza magnetica; Troppu magre, faciule da deformà.
4 、 Prucessu di ubligatoriu 1. Pre-tratte a superficia di u materiale di destinazione è u target back prima di ubligatoriu. 2. Pone u materiale di destinazione è u mira di ritornu nantu à una piattaforma di brasatura è elevà a temperatura à a temperatura di ubligatoriu. 3. Metallizà u materiale di destinazione è u mira di daretu. 4. Bond the target material and back target. 5. Cooling è post-processing.
5 、 Precauzioni per l'usu di mira ligata: 1. A temperatura di sputtering ùn deve esse troppu altu. 2. U currente deve esse aumentatu lentamente. 3. L'acqua di rinfrescante circulante deve esse sottu à 35 gradi Celsius. 4. Densità di destinazione adatta
6、 U mutivu di u distaccu di a piastra posteriore hè chì a temperatura di sputtering hè alta, è u target back hè propensu à l'ossidazione è a deformazione. U materiale di destinazione crack durante a sputtering d'alta temperatura, pruvucannu u mira di daretu à staccà; 2. U currente hè troppu altu è a cunduzzione di u calore hè troppu veloce, facennu chì a temperatura hè troppu alta è a saldatura per funnu, risultatu in un solder irregolare è u distaccu di u target back; 3. A temperatura di l'outlet di l'acqua di rinfrescante circulante deve esse più bassu di 35 gradi Celsius, è l'alta temperatura di l'acqua circulante pò causà dissipazione di calore è distaccamentu poveru; 4. A densità di u materiale di destinazione stessu, quandu a densità di u materiale di destinazione hè assai alta, ùn hè micca faciule d'adsorbe, ùn ci hè micca spazii, è u target back hè faciule per fallu.
Tempu di pubblicazione: 12-10-2023