I materiali di destinazione sputtered anu esigenze elevate durante l'usu, micca solu per a purità è a dimensione di particella, ma ancu per a dimensione di particella uniforme. Queste elevate esigenze ci facenu prestà più attenzione quandu usendu materiali di destinazione di sputtering.
1. Preparazione sputtering
Hè assai impurtante di mantene a pulizia di a camera di vacuum, in particulare u sistema di sputtering. Lubricanti, polvera, è qualsiasi residuu da i rivestimenti precedenti ponu accumulà contaminanti cum'è l'acqua, affettendu direttamente u vacuum è aumentendu a probabilità di fallimentu di furmazione di film. Corti circuiti, arcu di mira, superfici ruvide chì formanu film, è impurità chimiche eccessive sò generalmente causati da camere di sputtering impuru, pistole è obiettivi.
Per mantene e caratteristiche di cumpusizioni di u revestimentu, u gasu sputtering (argon o ossigenu) deve esse pulitu è seccu. Dopu avè installatu u sustrato in a camera di sputtering, l'aria deve esse estratta per ottene u livellu di vacuum necessariu per u prucessu.
2. Pulizia di mira
U scopu di a pulizia di u mira hè di caccià ogni polvera o terra chì pò esse in a superficia di u mira.
3. Installazione di destinazione
A cosa più impurtante per esse attentu durante u prucessu di stallazione di u materiale di destinazione hè di assicurà una bona cunnessione termale trà u materiale di destinazione è u muru di rinfrescante di a pistola sputtering. Se u muru di rinfrescante o a piastra posteriore hè severamente deformata, pò causà cracking o curvatura durante a stallazione di u materiale di destinazione. U trasferimentu di calore da u target back à u materiale di destinazione serà assai affettatu, risultatu in l'incapacità di dissiparà u calore durante a sputtering, in ultimamente chì porta à cracking o deviazione di u materiale di destinazione.
4. Cortocircuit è ispezzione di sigillatura
Dopu à a stallazione di u materiale di destinazione, hè necessariu di verificà u cortu circuitu è u sigillamentu di tuttu u cathode. Hè cunsigliatu di utilizà un ohmmeter è un megahmmeter per determinà se u catodu hè in cortocircuitu. Dopu avè cunfirmatu chì u catodu ùn hè micca cortocircuitu, una rilevazione di fughe pò esse realizatu injecting acqua in u catodu per determinà s'ellu ci hè una fuga.
5. Target materiale pre sputtering
Hè ricumandemu d'utilizà gas argon puru per pre sputtering di u materiale di destinazione, chì pò pulisce a superficia di u materiale di destinazione. Hè cunsigliatu di aumentà lentamente a putenza di sputtering durante u prucessu di pre sputtering per u materiale di destinazione. U putere di u materiale di destinazione ceramica
Tempu di post: 19-10-2023