Motivi per a furmazione di grooves nantu à a superficia di u niobium target

I materiali di destinazione di niobiu sò principarmenti usati in revestimenti ottici, rivestimenti di materiale di ingegneria di superficia, è industrii di rivestimenti cum'è a resistenza à u calore, a resistenza à a corrosione è a alta conduttività. In u campu di u revestimentu otticu, hè principalmente appiicatu in i prudutti ottici oftalmici, lenti, ottiche di precisione, rivestimenti di grande superficie, rivestimenti 3D è altri aspetti.

U materiale di destinazione di niobium hè di solitu chjamatu un scopu nudu. Hè prima saldatu à u mira di u ramu, è poi sputtered per deposità l'atomi di niobiu in forma di ossidi nantu à u materiale di sustrato, ottenendu un revestimentu sputtering. Cù l'approfondimentu continuu è l'espansione di a tecnulugia è l'applicazione di mira di niobiu, i requisiti per l'uniformità di a microstruttura di mira di niobiu anu aumentatu, manifestati principalmente in trè aspetti: raffinamentu di granu di granu, senza orientazione di texture evidente, è purità chimica mejorata.

A distribuzione uniforme di a microstruttura è e proprietà in tuttu u mira hè cruciale per assicurà a prestazione di sputtering di i materiali di destinazione di niobium. A superficia di i miri di niobiu scontru in a produzzione industriale di solitu mostra mudelli regulari, chì affettanu assai a prestazione di sputtering di i miri. Cumu pudemu migliurà a rata d'utilizazione di i miri?

Per mezu di a ricerca, hè statu truvatu chì u cuntenutu di impurità (purità di destinazione) hè un fattore impurtante chì afecta a purità. A cumpusizioni chimica di e materie prime hè irregulare, è impurità sò arricchite. Dopu à u prucessu di rotulamentu dopu, i mudelli regulari sò furmati nantu à a superficia di u materiale di destinazione di niobium; L'eliminazione di a distribuzione irregulare di i cumpunenti di a materia prima è l'arricchimentu di impurità pò evità a furmazione di mudelli regularmente nantu à a superficia di mira di niobium. L'influenza di a dimensione di granu è a cumpusizioni strutturale nantu à u materiale di destinazione pò esse quasi insignificante.