Tutti sapemu chì u sputtering hè una di e tecnulugia principali per a preparazione di materiale di film. Si usa l'ioni pruduciutu da a fonte di ioni per accelerà l'agregazione in u vacuum per furmà un fasciu di ioni à alta velocità, bombarde a superficia solida, è i ioni scambianu energia cinetica cù l'atomi nantu à a superficia solida, cusì chì l'atomi nantu à u solidu. superficia lasciate u solidu è depositu nantu à a superficia di u sustrato. U solidu bombardatu hè a materia prima per dipositu film da sputtering, chì hè chjamatu sputtering target.
Diversi tipi di materiali di film sputtered sò stati largamente utilizati in circuiti integrati di semiconductor, supporti di registrazione, display planar, utensile è rivestimentu di a superficia di muore è cusì.
Obiettivi di sputtering sò principarmenti usati in l'industrii elettronichi è di l'infurmazioni, cum'è circuiti integrati, almacenamentu di l'infurmazioni, display di cristalli liquidi, memorie laser, equipaghji di cuntrollu elettronicu, etc. Pò esse ancu usatu in u campu di u revestimentu di vetru; Pò esse ancu usatu in materiali resistenti à l'usura, resistenza à a corrosione à alta temperatura, prudutti decorativi high-end è altre industrii.
Ci sò parechji tipi di miri di sputtering, è ci sò metudi diffirenti per a classificazione di i miri:
Sicondu a cumpusizioni, pò esse divisu in mira di metallu, mira di lega è destinazione composta ceramica.
Sicondu a forma, pò esse divisu in target long, target square è round target.
Pò esse divisu in mira microelettronica, destinazione di registrazione magnetica, destinazione di discu otticu, target di metalli preziosi, target di resistenza di film, target di film conduttivu, target di modificazione di a superficia, target di maschera, target di strati decorativi, target di l'elettrodu è altri obiettivi secondu u campu di applicazione.
Sicondu diverse applicazioni, pò esse divisu in miri di ceramica cunnessi à i semiconduttori, registrazioni di mira di ceramica media, display target ceramics, superconducting ceramic targets è giganti magnetoresistance ceramic targets.
Tempu di post: Jul-29-2022