Sa pagkakaron, sa mga nag-unang tiggama sa target sa spattering sa kalibutan, adunay duha ka lain-laing mga pamaagi alang sa paghimo sa aluminum alloy nga spattering target. Ang usa mao ang pagpili sa pamaagi sa paghulma sa paghimo sa ingot, ug dayon paghimo sa proseso sa paghulma. Ang lain gihimo pinaagi sa pag-spray sa paghulma. Himoa nga ang editor sa Beijing maghimo alang kanimo nga ipaambit, bahin sa proseso sa paghimo sa titanium aluminum alloy target kung unsa ang sentido komon.
Sama sa nahibal-an nga nahibal-an nga mga pamaagi sa paghulma / paghulma, kung ang paghimo sa target nga sputtering sa aluminyo nga haluang metal, ang target sa pag-sputter sa aluminyo nga haluang metal sagad nga gipailalom sa paglainlain tungod sa pagdugang sa mga elemento sa haluang metal, nga miresulta sa dili maayo nga kalidad sa sputtered film, ug mga micro particle. dali nga mahitabo sa nawong sa sputtering target, nga makaapekto usab sa pagkaparehas sa mga kabtangan sa pelikula; Bisan pa, kung ang nahibal-an nga pamaagi sa pagporma sa spray gigamit sa paghimo sa aluminum alloy sputtering target, bisan kung ang gihisgutan sa ibabaw nga may kalabutan nga mga depekto mahimong mapugngan, ang gasto sa paggama sa sputtering target mapauswag pag-ayo, labi na kung ang paghimo sa pipila nga mga target nga sputtering nga dili dali ihulog ug kinahanglan nga mainitan, ang gasto mapauswag pinaagi sa gamit ang hot pressing.
Aron mahimo ang proseso sa paghimo sa titanium aluminum alloy nga target nga mas sayon ug mas ubos nga gasto, usa ka pamaagi sa paghimo sa aluminum alloy sputtering target nga adunay air spray powder gipaila dinhi. Ang prinsipyo niini nagtumong nga ang usa ka materyal nga pulbos sa sputtering target gihimo pinaagi sa air spray nga pamaagi sumala sa ratio sa komposisyon sa haluang metal, ug unya ang haluang metal nga powder gisusi aron makuha ang angay nga gidak-on sa partikulo sa powder. Sa katapusan, ang pulbos mao ang vacuum nga init nga gipugos sa paghimo sa aluminum alloy sputtering target.
Kini nga pamaagi sa paghimo sa mga target sa pagsabwag sa aluminyo nga haluang metal nga adunay air spray powder mahimong magamit alang sa paghimo sa lainlaing mga target sa pagsabwag sa aluminyo nga haluang metal (aluminum chromium, aluminum silicon copper, aluminum titanium, ug uban pa). Ang gipalabi nga mga lakang sa pagpatuman mao ang: pagsuplay sa metal nga mga materyales alang sa paghimo sa aluminum alloy splash target ug pagtunaw niini ngadto sa metal nga matunaw;Unya, ang tinunaw nga metal gihimong metal powder pinaagi sa air spray method; Sa katapusan, ang metal nga pulbos naporma pinaagi sa vacuum hot pressing aron mahimo ang aluminum alloy sputtering target, ug ang inert gas gipaila isip maintenance gas. Kini nga pamaagi makapugong sa paglainlain sa datos ug mga depekto sa micro particle, ug makamugna og taas nga kalidad nga mga target sa sputtering nga mas paspas ug barato.
Oras sa pag-post: Hunyo-01-2022