Gipaambit sa RSM ang mga butang nga nanginahanglan pagtagad kung nagpalit mga target nga materyales

Daghang mga tiggamit wala maghunahuna sa pagpalit sa mga target gikan sa usa ka propesyonal nga punto sa panglantaw, mao nga unsa ang kinahanglan nga pagtagad sa sa diha nga ang pagpalit sa mga target? Atong pangutan-on ang Xiaobian sa Beijing Ruichi nga itudlo ang mga butang nga nanginahanglan pagtagad sa pagpalit sa mga target.

Una, alang sa target, ang kaputli mao ang usa sa mga nag-unang functional indicators, ug ang kaputli sa target adunay usa ka dako nga epekto sa function sa ulahi nga produkto nga pelikula. Ang matag produkto usab adunay lainlaing mga kinahanglanon alang sa kaputli sa target.

Ikaduha, ang kahugawan sa sulod sa tagsa-tagsa nga mga elemento sa target. Pagkahuman sa usa ka serye sa pagproseso sa target, ang mga hugaw sa target nga solid ug ang oxygen ug alisngaw sa tubig sa mga pores mao ang panguna nga gigikanan sa polusyon sa mga nadeposito nga pelikula. Tungod sa lain-laing mga gamit sa mga target, ang mga kinahanglanon alang sa lain-laing mga kahugawan sulod sa mga target uban sa lain-laing mga gamit lain-laing usab. Pananglitan, ang puro nga aluminum ug aluminum alloy nga mga target nga gigamit sa industriya sa semiconductor karon adunay espesyal nga mga kinahanglanon alang sa sulod sa alkali metal ug radioactive nga mga elemento.

Densidad mao usab ang usa sa mga importante nga performance index sa target Sa teknikal nga proseso sa target, aron sa pagpakunhod sa pores sa target solid ug sa pagpalambo sa function sa sputtered pelikula, ang target sa kasagaran gikinahanglan nga adunay usa ka taas nga densidad. Ang nag-unang kinaiya nga Densidad sa target adunay dako nga impluwensya sa sputtering rate, ug makaapekto sa electrical ug optical function sa pelikula. Ang mas taas nga target density, mas maayo ang function sa pelikula.

Sa katapusan, ang gidak-on sa lugas ug ang pag-apod-apod sa lugas. Kasagaran, ang target nga materyal kay polycrystalline, ug ang gidak-on sa lugas mahimong gikan sa micron hangtod sa milimetro. Para sa parehas nga target, ang sputtering rate sa pinong lugas nga target mas paspas kaysa sa coarse grain target; Ang gibag-on sa mga pelikula nga gideposito pinaagi sa target sputtering nga adunay gamay nga kalainan sa gidak-on sa lugas (uniporme nga pagkatibulaag) mas parehas.