Rich Special Materials Co.,LTD aron ipaambit Unsa ang mga kinahanglanon sa pasundayag sa target nga materyal

Ang kaylap nga paggamit sa target nga materyal sa lainlaing mga propesyon naghimo sa panginahanglan alang sa target nga materyal nga mas taas ug mas taas. Ang mosunod Atong buhaton sa mubo nga pagpaila ikaw unsa ang nag-unang mga kinahanglanon sa paggana sa target, hoping aron matabangan ka.

Purity: Ang kaputli mao ang usa sa mga nag-unang functional indicators sa target, tungod kay ang kaputli sa target adunay dako nga epekto sa function sa pelikula. Apan sa praktis, ang kaputli sa target nga materyal dili pareho. Pananglitan, uban sa paspas nga pagtubo sa microelectronics propesyon, Ang gidak-on sa silicon wafer naugmad gikan sa 6 ", 8" ngadto sa 12 ", ug ang wiring gilapdon mikunhod gikan sa 0.5um ngadto sa 0.25um, 0.18um ug bisan 0.13um. Sa higayon nga ang 99.995% sa target nga kaputli makatagbo sa mga kinahanglanon sa teknolohiya sa 0.35UMIC. Ang pag-andam sa 0.18um nga linya nanginahanglan 99.999% o bisan 99.9999% nga kaputli sa target nga materyal.

Densidad: Aron makunhuran ang porosity sa target nga solid ug mapaayo ang function sa sputtering film, ang target kasagarang gikinahanglan nga adunay taas nga density. Ang target density makaapekto dili lamang sa sputtering rate kondili usab sa electrical ug optical nga mga kabtangan sa mga pelikula. Ang mas taas nga target density, mas maayo ang function sa pelikula. Dugang pa, ang densidad ug kalig-on sa target nga materyal gidugangan aron mas maayo nga makasugakod sa thermal stress sa panahon sa sputtering. Ang Densidad usa usab sa hinungdanon nga mga timailhan sa pag-andar sa mga target nga sangkap.

　　Kahugawan nga sulod: ang mga hugaw sa target nga solid ug oksiheno ug tubig nga alisngaw sa mga pores mao ang nag-unang tinubdan sa polusyon sa natipon nga mga pelikula. Ang lain-laing mga target nga materyales alang sa lain-laing mga katuyoan adunay lain-laing mga kinahanglanon alang sa lain-laing mga hugaw nga sulod. Pananglitan, ang puro nga aluminum ug aluminum alloy nga mga target nga gigamit sa industriya sa semiconductor adunay espesyal nga mga kinahanglanon alang sa alkali metal content ug radioactive element content.