Ang Titanium aluminyo nga haluang metal mao ang usa ka haluang metal sputtering target alang sa vacuum deposition. Ang mga target sa Titanium aluminum alloy nga adunay lain-laing mga kinaiya mahimong makuha pinaagi sa pag-adjust sa sulod sa titanium ug aluminum niini nga alloy. Ang Titanium aluminum intermetallic compound mga gahi ug brittle nga mga materyales nga adunay maayo nga pagsukol sa pagsul-ob. Sila adunay sapaw sa usa ka layer sa titanium aluminum intermetallic compounds sa ibabaw sa nawong sa ordinaryo nga mga himan sa pagputol, nga mahimong epektibo nga extend sa serbisyo sa kinabuhi sa mga himan. Kung ang sputtering gihimo uban ang nitrogen discharge arc nga nagsugod, ang usa ka taas nga katig-a ug ubos nga friction coefficient sa nawong nga maskara sa nawong mahimong makuha, nga labi nga angay alang sa sulud sa sulud sa lainlaing mga himan, agup-op ug uban pang mga huyang nga bahin. Busa, kini adunay usa ka maayo nga prospect sa aplikasyon sa industriya sa machining.
Ang pag-andam sa mga target sa titanium aluminum alloy medyo lisud. Sumala sa phase diagram sa titanium aluminum alloy, ang nagkalain-laing intermetallic compound mahimong maporma tali sa titanium ug aluminum, nga mosangpot sa pagproseso sa brittleness sa titanium aluminum alloy. Ilabi na kung ang sulud sa aluminyo sa haluang metal molapas sa 50% (atomic ratio), ang resistensya sa oksihenasyon sa haluang metal kalit nga mikunhod ug grabe ang oksihenasyon. Sa parehas nga oras, ang exothermic nga pagpalapad sa panahon sa proseso sa pag-alloy dali nga makamugna og mga bula, pag-urong sa mga pores, ug porosity, nga moresulta sa taas nga porosity sa haluang metal ug kawalay katakus sa pagtagbo sa mga kinahanglanon sa densidad sa target nga materyal. Adunay duha ka nag-unang mga pamaagi sa pag-andam sa titanium aluminum alloys:
1, Kusog nga kasamtangan nga pamaagi sa pagpainit
Kini nga pamaagi naggamit sa usa ka himan nga makakuha og taas nga kasamtangan, nga nagpainit sa titanium powder ug aluminum powder, nagpadapat sa presyur, ug nagpahinabo sa aluminum ug titanium nga reaksiyon aron maporma ang titanium aluminum alloy nga mga target. Ang Densidad sa titanium aluminum alloy target nga produkto nga giandam niini nga pamaagi mao ang> 99%, ug ang gidak-on sa lugas mao ang ≤ 100 μm. Kaputli> 99%. Ang komposisyon nga han-ay sa titanium aluminum alloy target nga materyal mao ang: titanium nga sulod sa 5% ngadto sa 75% (atomic ratio), ug ang uban mao ang aluminum content. Kini nga pamaagi adunay mubu nga gasto ug taas nga densidad sa produkto, ug hingpit nga makab-ot ang mga kinahanglanon sa dinagkong produksiyon sa industriya.
2, Mainit nga isostatic pressing sintering nga pamaagi
Kini nga pamaagi nagsagol sa titanium powder ug aluminum powder, unya moagi sa powder loading, cold isostatic pressing pre pressing, degassing process, ug unya init nga isostatic pressing forming. Sa katapusan, ang sintering ug pagproseso gihimo aron makuha ang mga target sa titanium aluminum alloy. Ang titanium aluminum alloy nga target nga giandam niini nga pamaagi adunay mga kinaiya nga taas nga densidad, walay pores, walay porosity ug segregation, uniporme nga komposisyon, ug maayong mga lugas. Ang init nga isostatic pressing nga pamaagi sa pagkakaron mao ang nag-unang pamaagi sa pag-andam sa titanium aluminum alloy sputtering target nga gikinahanglan sa coating industry.
Panahon sa pag-post: Mayo-10-2023