Kahibalo sa pagpadayon sa sputtering target

Daghang mga higala mahitungod sa pagmintinar sa target adunay daghan o dili kaayo nga mga pangutana, bag-o lang adunay daghan usab nga mga kustomer nga nagkonsulta mahitungod sa pagmintinar sa mga target nga may kalabutan nga mga problema, himoa nga editor sa RSM alang kanato sa pagpakigbahin mahitungod sa sputtering target maintenance kahibalo .

　　Unsaon pagmentinar ang mga target sa sputter?

　　1, Target nga pagmentinar

Aron malikayan ang mubo nga sirkito ug arcing tungod sa dili limpyo nga lungag sa proseso sa sputtering, gikinahanglan nga matag karon ug unya kuhaon ang mga sputter nga natipon sa tunga ug duha ka kilid sa sputtering track, nga makatabang usab sa mga tiggamit nga padayon nga mag-sputter sa taas nga densidad sa kuryente.

　　2, Target nga pagtipig

Girekomenda namon nga ang mga tiggamit magtipig sa target (bisan metal o seramiko) sa vacuum packaging, labi na ang angay nga target kinahanglan tipigan sa vacuum aron mapugngan ang oksihenasyon sa angay nga layer nga makaapekto sa kalidad nga angay. Mahitungod sa pagputos sa mga target nga metal, among gisugyot nga sila kinahanglan nga ibutang sa limpyo nga mga bag nga plastik labing menos.

　　3, Paglimpyo sa target

Ang unang lakang mao ang paglimpyo gamit ang lint free soft cloth nga gituslob sa acetone;

Ang ikaduhang lakang susama sa unang lakang, paghinlo sa alkohol;

Lakang 3: limpyo sa deionized nga tubig. Human sa paglimpyo sa deionized nga tubig, ang target ibutang sa hudno ug mamala sa 100 ℃ sulod sa 30 minutos. Gisugyot nga gamiton ang "lint free cloth" sa paglimpyo sa oxide ug ceramic target.

Ang ikaupat nga lakang mao ang paghugas sa target gamit ang argon nga adunay taas nga presyur ug ubos nga humidity aron makuha ang bisan unsang dili putli nga mga partikulo nga mahimong hinungdan sa arko sa sistema sa sputtering.

　　4, Pagsusi sa short circuit ug tightness

Human ma-install ang target, ang tibuuk nga cathode kinahanglan nga susihon alang sa mubo nga sirkito ug kahugot. Kini girekomendar sa paghukom kon adunay usa ka mubo nga sirkito sa cathode pinaagi sa paggamit sa usa ka resistensya meter ug usa ka megger. Human sa pagkumpirma nga walay short circuit sa cathode, ang pag-inspeksyon sa pagtulo sa tubig mahimong ipahigayon, ug ang tubig mahimong ipasulod sa cathode aron mahibal-an kung adunay pagtulo sa tubig.

　　5, Pagputos ug transportasyon

Ang tanan nga mga target giputos sa vacuum sealed plastic bag nga adunay moisture-proof agent. Ang gawas nga pakete kasagaran kahoy nga kahon nga adunay anti-collision layer sa palibot aron mapanalipdan ang target ug backplane gikan sa kadaot sa panahon sa transportasyon ug pagtipig.