Mga Hinungdan sa Sputtering Target Cracking ug Countermeasures

Ang mga liki sa sputtering target kasagarang mahitabo sa ceramic sputtering target sama sa oxides, carbide, nitride, ug brittle materials sama sa chromium, antimony, bismuth. Karon ipatin-aw sa mga teknikal nga eksperto sa RSM kung ngano nga ang sputtering target crack ug unsa nga mga lakang sa pagpugong ang mahimo aron malikayan kini nga kahimtang.

Ang mga seramik o brittle nga materyal nga mga target kanunay adunay mga kinaiyanhon nga kapit-os. Kini nga mga internal nga kapit-os gihimo sa target nga proseso sa paghimo. Dugang pa, kini nga mga kapit-os dili hingpit nga giwagtang sa proseso sa pag-annealing, tungod kay kini mga kinaiyanhon nga mga kinaiya niini nga mga materyales. Sa proseso sa sputtering, ang pagpamomba sa mga gas ions nagbalhin sa ilang momentum ngadto sa target nga mga atomo, nga naghatag kanila og igong kusog aron mabulag sila gikan sa lattice. Kini nga exothermic momentum nga pagbalhin naghimo sa target nga pagtaas sa temperatura, nga mahimong moabot sa 1000000 ℃ sa atomic level.

Kini nga mga thermal shock nagdugang sa kasamtangan nga internal nga stress sa target sa daghang mga higayon. Sa kini nga kaso, kung ang kainit dili husto nga mawala, ang target mahimong mabuak. Aron malikayan ang pag-crack sa target, kinahanglan nga hatagan og gibug-aton ang pagkawala sa kainit. Ang usa ka mekanismo sa pagpabugnaw sa tubig gikinahanglan aron makuha ang dili gusto nga enerhiya sa kainit gikan sa target. Laing isyu nga angay tagdon mao ang pag-usbaw sa gahom. Ang sobra nga gahum nga gigamit sa mubo nga panahon mahimo usab nga hinungdan sa thermal shock sa target. Dugang pa, gisugyot namon ang pagbugkos niini nga mga target sa backplane, nga dili lamang makahatag suporta alang sa target, apan nagpasiugda usab sa mas maayo nga pagbayloay sa kainit tali sa target ug tubig. Kung ang target adunay mga liki apan gibugkos sa likod nga plato, mahimo gihapon kini gamiton.

Ang Rich Special Materials Co., Ltd. makahatag sa mga sputtering target nga adunay backplane. Mahimo kini ipasibo sumala sa mga kinahanglanon sa mga kostumer sa materyal, gibag-on ug tipo sa pagbugkos.