Peces de siliciur de tungstè
Peces de siliciur de tungstè
El siliciur de tungstè WSi2 s'utilitza com a material de descàrrega elèctrica en microelectrònica, derivació de cables de polisilici, recobriment anti-oxidació i recobriment de filferro de resistència. El siliciur de tungstè s'utilitza com a material de contacte en microelectrònica, amb una resistivitat de 60-80μΩcm. Es forma a 1000°C. Normalment s'utilitza com a derivació per a línies de polisilici per augmentar la seva conductivitat i augmentar la velocitat del senyal. La capa de siliciur de tungstè es pot preparar mitjançant deposició química de vapor, com ara la deposició de vapor. Utilitzeu monosilà o diclorosilà i hexafluorur de tungstè com a gas de matèria primera. La pel·lícula dipositada no és estequiomètrica i requereix un recuit per transformar-se en una forma estequiomètrica més conductora.
El siliciur de tungstè pot substituir la pel·lícula de tungstè anterior. El siliciur de tungstè també s'utilitza com a capa barrera entre el silici i altres metalls.
El siliciur de tungstè també és molt valuós en sistemes microelectromecànics, entre els quals el siliciur de tungstè s'utilitza principalment com a pel·lícula fina per a la fabricació de microcircuits. Amb aquesta finalitat, la pel·lícula de siliciur de tungstè es pot gravar amb plasma utilitzant, per exemple, siliciur.
ARTICLE | Composició química | |||||
Element | W | C | P | Fe | S | Si |
Contingut (%) | 76,22 | 0,01 | 0,001 | 0,12 | 0,004 | Balanç |
Rich Special Materials s'especialitza en la fabricació d'objectius per pulverització i podria produir siliciur de tungstèpecessegons les especificacions dels clients. Per a més informació, poseu-vos en contacte amb nosaltres.