Quins són els requisits de rendiment de l'objectiu

L'objectiu té un ampli mercat, àrea d'aplicació i un gran desenvolupament en el futur. Per tal d'ajudar-vos a entendre millor les funcions de destinació, aquí a continuació l'enginyer RSM presentarà breument els requisits funcionals principals de l'objectiu.

Puresa: la puresa és un dels principals indicadors funcionals de l'objectiu, perquè la puresa de l'objectiu té un gran impacte en la funció de la pel·lícula. Tanmateix, en l'aplicació pràctica, els requisits de puresa de l'objectiu també són diferents. Per exemple, amb el ràpid desenvolupament de la indústria de la microelectrònica, la mida de la hòstia de silici s'amplia de 6 "a 8" a 12 ", i l'amplada del cablejat es redueix de 0,5um a 0,25um, 0,18um o fins i tot 0,13um. Anteriorment, el 99,995% de la puresa objectiu pot complir els requisits del procés de 0,35 um, mentre que la preparació de línies de 0,18 um requereix el 99,999% o fins i tot el 99,9999% de la puresa objectiu.

Contingut d'impureses: les impureses dels sòlids diana i l'oxigen i el vapor d'aigua dels porus són les principals fonts de contaminació de les pel·lícules dipositades. Els objectius per a diferents finalitats tenen requisits diferents per a diferents continguts d'impureses. Per exemple, els objectius d'alumini pur i d'aliatge d'alumini utilitzats a la indústria de semiconductors tenen requisits especials per al contingut de metalls alcalins i el contingut d'elements radioactius.

Densitat: per reduir els porus del sòlid objectiu i millorar la funció de la pel·lícula sputtering, normalment es requereix que l'objectiu tingui una alta densitat. La densitat de l'objectiu no només afecta la velocitat de pulverització, sinó que també afecta les funcions elèctriques i òptiques de la pel·lícula. Com més gran sigui la densitat de l'objectiu, millor serà la funció de la pel·lícula. A més, es milloren la densitat i la força de l'objectiu perquè l'objectiu pugui acceptar millor l'estrès tèrmic en el procés de pulverització. La densitat també és un dels indicadors funcionals clau de l'objectiu.