Els metalls de tungstè refractaris i els aliatges de tungstè tenen els avantatges d'una estabilitat a alta temperatura, una gran resistència a la migració d'electrons i un alt coeficient d'emissió d'electrons. Els objectius de tungstè i aliatges de tungstè d'alta puresa s'utilitzen principalment per fabricar elèctrodes de porta, cablejat de connexió, capes de barrera de difusió de circuits integrats de semiconductors. Tenen requisits molt elevats de puresa, contingut d'elements d'impuresa, densitat, mida del gra i estructura uniforme del gra dels materials. Fem una ullada als factors que influeixen en la preparació d'objectius de tungstè d'alta puresaby Rich Special Material Co., Ltd.
I. Efecte de la temperatura de sinterització
El procés de formació de l'embrió objectiu de tungstè es fa normalment per pressió isostàtica freda. El gra de tungstè creixerà durant la sinterització. El creixement del gra de tungstè omplirà el buit entre els límits del cristall, augmentant així la densitat de l'objectiu de tungstè. Amb l'augment dels temps de sinterització, l'augment de la densitat de l'objectiu de tungstè disminueix gradualment. El motiu principal és que la qualitat del material objectiu de tungstè no ha canviat gaire després de diversos processos de sinterització. Com que la majoria dels buits del límit del cristall s'omplen amb cristalls de tungstè, la taxa de canvi de mida global de l'objectiu de tungstè és molt petita després de cada procés de sinterització, el que resulta en un espai limitat per augmentar la densitat de l'objectiu de tungstè. A mesura que avança la sinterització, grans grans de tungstè s'omplen als buits, donant lloc a un objectiu més dens amb una mida més petita.
2. Efecte dehtemps de conservació de menjar
A la mateixa temperatura de sinterització, la compacitat del material objectiu de tungstè es millora amb l'augment del temps de sinterització. Amb l'augment del temps de sinterització, la mida del gra de tungstè augmenta, i amb l'extensió del temps de sinterització, el factor de creixement de la mida del gra es desaccelera gradualment. Això demostra que augmentar el temps de sinterització també pot millorar el rendiment de l'objectiu de tungstè.
3. Efecte de rodar sobre l'objectiu Prendiment
Per millorar la densitat dels materials objectiu de tungstè i obtenir l'estructura de processament dels materials objectiu de tungstè, s'ha de dur a terme el rodatge a temperatura mitjana dels materials objectiu de tungstè per sota de la temperatura de recristal·lització. Quan la temperatura de rodament del blanc objectiu és alta, l'estructura de fibra del blanc objectiu és més gruixuda, mentre que la del blanc objectiu és més fina. Quan el rendiment de laminació en calent és superior al 95%. Tot i que s'eliminarà la diferència d'estructura de fibra causada per diferents gra originals de sinterització o temperatura de laminació, es formarà una estructura de fibra més homogènia dins de l'objectiu, de manera que com més gran sigui la velocitat de processament de laminació en calent, millor serà el rendiment de l'objectiu.
Hora de publicació: maig-05-2022