Rich Special Materials Co.,LTD per compartir Quins són els requisits de rendiment del material objectiu

L'ampli ús de material objectiu en diverses professions fa que la demanda de material objectiu sigui cada vegada més gran. El següent Ho farem presentar breument tu quins són els requisits funcionals principals de l'objectiu, hoping per ajudar-te.

Puresa: la puresa és un dels principals indicadors funcionals de l'objectiu, perquè la puresa de l'objectiu té un gran impacte en la funció de la pel·lícula. Però a la pràctica, la puresa del material objectiu no és la mateixa. Per exemple, amb el ràpid creixement de la professió de la microelectrònica, la mida de la hòstia de silici s'ha desenvolupat de 6 ", 8 "a 12" i l'amplada del cablejat ha disminuït de 0,5um a 0,25um, 0,18um i fins i tot 0,13um. Un cop el 99,995% de la puresa objectiu pot complir els requisits tecnològics de 0,35 UMIC. La preparació de la línia de 0,18um requereix un 99,999% o fins i tot un 99,9999% de puresa del material objectiu.

Densitat: per reduir la porositat del sòlid objectiu i millorar la funció de la pel·lícula de pulverització, normalment es requereix que l'objectiu tingui una alta densitat. La densitat de l'objectiu no només afecta la velocitat de pulverització sinó també les propietats elèctriques i òptiques de les pel·lícules. Com més gran sigui la densitat de l'objectiu, millor serà la funció de la pel·lícula. A més, es va augmentar la densitat i la força del material objectiu per fer-lo més capaç de suportar l'estrès tèrmic durant la polsació. La densitat també és un dels indicadors funcionals importants de les substàncies diana.

　　Contingut d'impureses: les impureses del sòlid objectiu i l'oxigen i el vapor d'aigua dels porus són les principals fonts de contaminació de les pel·lícules acumulades. Els diferents materials objectiu per a diferents finalitats tenen diferents requisits per a diferents continguts d'impureses. Per exemple, els objectius d'alumini pur i d'aliatge d'alumini utilitzats a la indústria dels semiconductors tenen requisits especials per al contingut de metalls alcalins i el contingut d'elements radioactius.