El nom complet de PVD és deposició física de vapor, que és l'abreviatura de l'anglès (physical vapor deposition). Actualment, el PVD inclou principalment un recobriment d'evaporació, un recobriment de magnetrons, un recobriment d'ions multi arc, una deposició química de vapor i altres formes. En termes generals, PVD pertany a la indústria de protecció ambiental verda. En comparació amb altres indústries, té pocs danys al cos humà, però no està exempt. Per descomptat, es pot reduir eficaçment o fins i tot eliminar-se completament. Sobre les precaucions de recobriment al buit amb magnetron PVD, mitjançant la participació de l'editor de RSM, podem entendre amb més precisió els coneixements professionals rellevants.
Tingueu en compte els punts següents sobre el recobriment al buit amb magnetró PVD:
1. Radiació: alguns recobriments necessiten utilitzar font d'alimentació de RF. Si la potència és alta, s'ha de protegir. A més, segons les normes europees, els cables metàl·lics estan incrustats al voltant del marc de la porta de la màquina de recobriment d'una habitació individual per protegir la radiació.
2. Contaminació metàl·lica: alguns materials de recobriment (com ara crom, indi, alumini) són perjudicials per al cos humà, i s'ha de prestar especial atenció a la contaminació per pols durant la neteja de la cambra de buit;
3. Contaminació acústica: especialment per a alguns equips de recobriment grans, la bomba de buit mecànica és molt sorollosa, de manera que la bomba es pot aïllar fora de la paret;
4. Contaminació lumínica: en el procés de recobriment iònic, el gas s'ionitza i emet una llum forta, que no és adequada per mirar a través de la finestra d'observació durant molt de temps;
La temperatura general de treball del recobridor PVD de magnetró es pot controlar entre 0 ~ 500!
Hora de publicació: 08-jul-2022