Requisits característics de l'objectiu de polverització de molibdè

Recentment, molts amics van preguntar sobre les característiques dels objectius de pulverització de molibdè. A la indústria electrònica, per millorar l'eficiència de la pulverització i assegurar la qualitat de les pel·lícules dipositades, quins són els requisits per a les característiques de les dianes de pulverització de molibdè? Ara ens ho explicaran els experts tècnics de RSM.

　　1. Puresa

L'alta puresa és un requisit característic bàsic de l'objectiu de pulverització de molibdè. Com més gran sigui la puresa de l'objectiu de molibdè, millor serà el rendiment de la pel·lícula pulveritzada. En general, la puresa de l'objectiu de pulverització de molibdè hauria de ser almenys del 99,95% (fracció de massa, la mateixa a continuació). Tanmateix, amb la millora contínua de la mida del substrat de vidre a la indústria LCD, s'ha d'ampliar la longitud del cablejat i l'amplada de línia ha de ser més prima. Per tal de garantir la uniformitat de la pel·lícula i la qualitat del cablejat, també s'ha d'augmentar la puresa de l'objectiu de pulverització de molibdè en conseqüència. Per tant, d'acord amb la mida del substrat de vidre i l'entorn d'ús, la puresa de l'objectiu de pulverització de molibdè ha de ser del 99,99% al 99,999% o fins i tot superior.

L'objectiu de pulverització catòdica de molibdè s'utilitza com a font de càtode en la catòdica. Les impureses en sòlids i l'oxigen i el vapor d'aigua dels porus són les principals fonts de contaminació de les pel·lícules dipositades. A més, a la indústria electrònica, com que els ions de metalls alcalins (Na, K) són fàcils de convertir en ions mòbils a la capa d'aïllament, el rendiment del dispositiu original es redueix; Elements com l'urani (U) i el titani (TI) s'alliberaran de raigs X α, donant lloc a una ruptura suau dels dispositius; Els ions de ferro i níquel provocaran fuites de la interfície i augmentaran els elements d'oxigen. Per tant, en el procés de preparació de la diana de pulverització de molibdè, aquests elements d'impureses s'han de controlar estrictament per minimitzar el seu contingut a l'objectiu.

　　2. Granulometria i distribució de la mida

En general, l'objectiu de la polverització de molibdè és una estructura policristalina i la mida del gra pot variar des de la micra fins al mil·límetre. Els resultats experimentals mostren que la velocitat de pulverització de la diana de gra fi és més ràpida que la de la diana de gra gruixut; Per a l'objectiu amb una petita diferència de mida de gra, la distribució del gruix de la pel·lícula dipositada també és més uniforme.

　　3. Orientació cristal·lina

Com que els àtoms objectiu són fàcils d'escampar preferentment al llarg de la direcció de la disposició més propera d'àtoms en la direcció hexagonal durant la sputtering, per tal d'aconseguir la velocitat de sputtering més alta, la velocitat de sputtering sovint augmenta canviant l'estructura cristal·lina de l'objectiu. La direcció del cristall de l'objectiu també té una gran influència en la uniformitat del gruix de la pel·lícula sputtered. Per tant, és molt important obtenir una determinada estructura d'objectiu orientada al cristall per al procés de polverització de la pel·lícula.

　　4. Densificació

En el procés de recobriment de pulverització, quan es bombardeja l'objectiu de polverització amb baixa densitat, el gas existent als porus interns de l'objectiu s'allibera de sobte, donant lloc a esquitxades de partícules o partícules diana de gran mida, o el material de la pel·lícula és bombardejat. per electrons secundaris després de la formació de la pel·lícula, donant lloc a esquitxades de partícules. L'aparició d'aquestes partícules reduirà la qualitat de la pel·lícula. Per tal de reduir els porus del sòlid objectiu i millorar el rendiment de la pel·lícula, generalment es requereix que l'objectiu de polverització tingui una alta densitat. Per a l'objectiu de pulverització de molibdè, la seva densitat relativa hauria de ser superior al 98%.

　　5. Unió de blanc i xassís

En general, l'objectiu de pols de molibdè s'ha de connectar amb el xassís de coure lliure d'oxigen (o d'alumini i altres materials) abans de la polverització, de manera que la conductivitat tèrmica de l'objectiu i el xassís sigui bona durant el procés de polverització. Després de l'enquadernació, s'ha de dur a terme una inspecció per ultrasons per assegurar-se que l'àrea de no unió dels dos sigui inferior al 2%, per tal de complir els requisits de pulverització d'alta potència sense caure.