Cilj ima široko tržište, područje primjene i veliki razvoj u budućnosti. Kako bi vam pomogao da bolje razumijete ciljne funkcije, ovdje ispod RSM inženjer će ukratko predstaviti glavne funkcionalne zahtjeve cilja.
Čistoća: čistoća je jedan od glavnih funkcionalnih pokazatelja mete, jer čistoća mete ima veliki utjecaj na funkciju filma. Međutim, u praktičnoj primjeni, zahtjevi za čistoćom mete su također različiti. Na primjer, brzim razvojem industrije mikroelektronike, veličina silicijumske pločice je proširena sa 6 "na 8" na 12 ", a širina ožičenja je smanjena sa 0,5um na 0,25um, 0,18um ili čak 0,13um. Ranije je 99,995% ciljne čistoće moglo zadovoljiti procesne zahtjeve od 0,35um, dok je za pripremu linija od 0,18um potrebno 99,999% ili čak 99,9999% ciljne čistoće.
Sadržaj nečistoća: nečistoće u ciljnim čvrstim materijama i kiseonik i vodena para u porama su glavni izvori zagađenja deponovanih filmova. Mete za različite namjene imaju različite zahtjeve za različitim sadržajima nečistoća. Na primjer, mete od čistog aluminija i legure aluminija koje se koriste u industriji poluvodiča imaju posebne zahtjeve za sadržaj alkalnih metala i sadržaj radioaktivnih elemenata.
Gustoća: da bi se smanjile pore u ciljnoj čvrstini i poboljšala funkcija filma za raspršivanje, obično se traži da meta ima veliku gustoću. Gustoća mete ne utječe samo na brzinu raspršivanja, već utječe i na električne i optičke funkcije filma. Što je veća ciljna gustina, to je bolja funkcija filma. Osim toga, gustoća i čvrstoća mete se poboljšavaju tako da meta može bolje prihvatiti termički stres u procesu raspršivanja. Gustina je također jedan od ključnih funkcionalnih indikatora cilja.
Vrijeme objave: 20.05.2022