Široka upotreba ciljnog materijala u raznim profesijama čini potražnju za ciljnim materijalom sve većom. Sledeće Hoćemo ukratko predstaviti ti koji su primarni funkcionalni zahtjevi mete, hoping da ti pomognem.
Čistoća: Čistoća je jedan od primarnih funkcionalnih pokazatelja mete, jer čistoća mete ima veliki utjecaj na funkciju filma. Ali u praksi, čistoća ciljanog materijala nije ista. Na primjer, sa brzim rastom profesije mikroelektronike, veličina silikonske pločice se razvila sa 6", 8" na 12", a širina ožičenja se smanjila sa 0,5um na 0,25um, 0,18um pa čak i 0,13um. Jednom 99,995% ciljne čistoće može zadovoljiti tehnološke zahtjeve od 0,35 UMIC. Za pripremu linije od 0,18um potrebno je 99,999% ili čak 99,9999% čistoće ciljnog materijala.
Gustoća: Da bi se smanjila poroznost u ciljnoj čvrstoj tvari i poboljšala funkcija filma za raspršivanje, obično se traži da meta ima veliku gustoću. Ciljna gustina utiče ne samo na brzinu raspršivanja već i na električna i optička svojstva filmova. Što je veća gustina mete, to je bolja funkcija filma. Osim toga, povećana je gustina i čvrstoća ciljanog materijala kako bi bolje izdržao termički stres tokom raspršivanja. Gustina je također jedan od važnih funkcionalnih indikatora ciljnih supstanci.
Sadržaj nečistoća: nečistoće u ciljnoj čvrstoj tvari i kisik i vodena para u porama su primarni izvori zagađenja akumuliranih filmova. Različiti ciljni materijali za različite namjene imaju različite zahtjeve za različit sadržaj nečistoća. Na primjer, mete od čistog aluminija i legure aluminija koje se koriste u industriji poluvodiča imaju posebne zahtjeve za sadržaj alkalnih metala i sadržaj radioaktivnih elemenata.
Vrijeme objave: Jun-06-2022