Zbog visoke temperaturne stabilnosti, visoke otpornosti na migraciju elektrona i visokog koeficijenta emisije elektrona vatrostalnih volframa i legura volframa, mete od volframa i legura volframa visoke čistoće se uglavnom koriste za proizvodnju gejt elektroda, ožičenja, slojeva difuzijske barijere itd. poluprovodnika. integrirana kola, i imaju visoke zahtjeve za čistoćom, sadržajem nečistoća, gustina, veličina zrna i ujednačenost strukture zrna materijala. Sada pogledajmo faktore koji utiču na pripremu volframove mete visoke čistoće.
1、 Utjecaj temperature sinteriranja
Proces formiranja volframovog ciljnog embriona uglavnom se izvodi hladnim izostatskim prešanjem. Volframovo zrno će rasti tokom procesa sinterovanja. Rast zrna volframa će popuniti jaz između granica zrna, čime se poboljšava gustina volframove mete. Sa povećanjem vremena sinterovanja, povećanje gustoće volframove mete postepeno se usporava. Glavni razlog je taj što se nakon višestrukog sinteriranja kvalitet volframove mete nije mnogo promijenio. Budući da je većina praznina na granici zrna ispunjena kristalima volframa, nakon svakog sinterovanja, ukupna brzina promjene veličine volframove mete je bila vrlo mala, što je rezultiralo ograničenim prostorom za povećanje gustoće volframove mete. Procesom sinterovanja, narasla zrna volframa se pune u šupljine, što rezultira većom gustinom mete sa manjom veličinom čestica.
2、 Efekat vremena zadržavanja
Na istoj temperaturi sinteriranja, kompaktnost mete od volframa će se poboljšati produljenjem vremena držanja sinteriranja. Produženjem vremena držanja, veličina zrna volframa će se povećati, a s produženjem vremena držanja, vrijeme rasta veličine zrna će se postupno usporavati, što znači da povećanje vremena zadržavanja može poboljšati i performanse volfram meta.
3、 Utjecaj kotrljanja na ciljna svojstva
Da bi se poboljšala gustoća volframovog ciljanog materijala i dobila struktura obrade volframovog ciljanog materijala, valjanje volframovog ciljanog materijala na srednjoj temperaturi mora se izvesti ispod temperature rekristalizacije. Ako je temperatura valjanja ciljne gredice visoka, struktura vlakana ciljne gredice će biti gruba, i obrnuto. Kada stopa toplog valjanja dostigne više od 95%. Iako će razlika u strukturi vlakana uzrokovana različitim izvornim zrnima ili različitim temperaturama valjanja biti eliminirana, unutarnja struktura mete će formirati relativno ujednačenu strukturu vlakana, tako da što je veća brzina obrade toplog valjanja, to su bolje performanse mete.
Vrijeme objave: Feb-15-2023