Ciljni materijal koji se koristi u industriji skladištenja podataka zahtijeva visoku čistoću, a nečistoće i pore moraju biti svedene na minimum kako bi se izbjeglo stvaranje čestica nečistoća tokom raspršivanja. Ciljni materijal koji se koristi za visokokvalitetne proizvode zahtijeva da veličina kristalnih čestica bude mala i ujednačena, te da nema kristalnu orijentaciju. U nastavku, pogledajmo zahtjeve industrije optičkog skladištenja za ciljni materijal?
1. Čistoća
U praktičnim primjenama, čistoća ciljanih materijala varira u zavisnosti od različitih industrija i zahtjeva. Međutim, sveukupno, što je veća čistoća ciljanog materijala, to su bolje performanse raspršenog filma. Na primjer, u industriji optičkog skladištenja, čistoća ciljanog materijala mora biti veća od 3N5 ili 4N
2. Sadržaj nečistoća
Ciljni materijal služi kao izvor katode u raspršivanju, a nečistoće u čvrstom stanju i kisik i vodena para u porama su glavni izvori zagađenja za taloženje tankih filmova. Osim toga, postoje posebni zahtjevi za mete različite namjene. Uzimajući za primjer industriju optičkog skladištenja, sadržaj nečistoća u metama za raspršivanje mora biti kontroliran na vrlo niskom nivou kako bi se osigurala kvaliteta premaza.
3. Veličina zrna i distribucija veličine
Obično, ciljni materijal ima polikristalnu strukturu, sa veličinom zrna u rasponu od mikrometara do milimetara. Za mete sa istim sastavom, brzina raspršivanja finozrnatih meta je veća od one sa krupnozrnim metama. Za mete s manjim razlikama u veličini zrna, debljina nanesenog filma će također biti ujednačenija.
4. Kompaktnost
Kako bi se smanjila poroznost u čvrstom ciljnom materijalu i poboljšale performanse filma, općenito je potrebno da ciljni materijal za raspršivanje ima veliku gustoću. Gustoća ciljanog materijala uglavnom ovisi o procesu pripreme. Ciljni materijal proizveden metodom topljenja i livenja može osigurati da unutar ciljanog materijala nema pora i da je gustoća vrlo visoka.
Vrijeme objave: Jul-18-2023