Sada moramo biti dobro upoznati sa metom, sada se i ciljno tržište povećava, evo šta je glavna performansa mete za prskanje koju dijeli urednik iz RSM-a
Čistoća
Čistoća ciljnog materijala jedan je od glavnih pokazatelja performansi, jer čistoća ciljanog materijala ima veliki utjecaj na performanse tankog filma. Međutim, u praktičnoj primjeni, zahtjevi za čistoćom ciljnih materijala nisu isti. Na primjer, brzim razvojem industrije mikroelektronike, veličina silikonskog čipa je razvijena sa 6", 8" na 12", a širina ožičenja je smanjena sa 0,5um na 0,25um, 0,18um ili čak 0,13um. Ranije je čistoća ciljanog materijala od 99,995% mogla zadovoljiti zahtjeve procesa od 0,35umIC. Čistoća ciljanog materijala je 99,999% ili čak 99,9999% za pripremu linija od 0,18um.
Sadržaj nečistoća
Nečistoće u ciljnoj čvrstini i kiseonik i vodena para u porama su glavni izvori zagađenja taloženja filma. Ciljani materijali za različite namjene imaju različite zahtjeve za različitim sadržajem nečistoća. Na primer, mete od čistog aluminijuma i legura aluminijuma koje se koriste u industriji poluprovodnika imaju posebne zahteve za sadržaj alkalnih metala i radioaktivnih elemenata.
Gustina
Kako bi se smanjila poroznost u ciljnoj čvrstoj tvari i poboljšale performanse filma za raspršivanje, obično je potrebna velika gustina mete. Gustoća mete utječe ne samo na brzinu raspršivanja već i na električna i optička svojstva filma. Što je veća ciljna gustina, to su bolje performanse filma. Osim toga, povećanje gustine i jačine mete čini da cilj bolje izdrži termički stres u procesu raspršivanja. Gustina je također jedan od ključnih indeksa učinka cilja.
Veličina zrna i distribucija veličine zrna
Meta je obično polikristalna sa veličinom zrna u rasponu od mikrometra do milimetra. Za istu metu, brzina raspršivanja mete sa malim zrnima je veća od one mete sa velikim zrnima. Raspodjela debljine filmova nanesenih metom za raspršivanje s manjom razlikom u veličini zrna (jednolika distribucija) je ujednačenija.
Vrijeme objave: 04.08.2022