Kako poboljšati stopu iskorištenja ciljanih materijala molibdena

Raspršene molibdenske mete su naširoko korištene u elektronskoj industriji, solarnim ćelijama, staklenim premazima i drugim poljima zbog svojih inherentnih prednosti. S brzim razvojem moderne tehnologije u minijaturizaciji, integraciji, digitalizaciji i inteligenciji, upotreba molibdenskih meta će se nastaviti povećavati, a zahtjevi za kvalitetom za njih će također postati sve viši. Stoga moramo pronaći načine da poboljšamo stopu iskorištenja molibdenskih ciljeva. Sada će urednik RSM-a uvesti nekoliko metoda za poboljšanje stope iskorišćenja mete molibdena za prskanje za svakoga

1. Dodajte elektromagnetnu zavojnicu na poleđinu

Kako bi se poboljšala stopa iskorištenja raspršene molibdenske mete, elektromagnetna zavojnica se može dodati na poleđinu planarne molibdenske mete koja raspršuje Magnetron, a magnetsko polje na površini molibdenske mete može se povećati povećanjem struje od elektromagnetne zavojnice, kako bi se poboljšala stopa iskorištenja molibdenske mete.

2. Odaberite cjevasti rotirajući ciljni materijal

U poređenju sa ravnim metama, odabir cevaste rotirajuće strukture mete naglašava njene suštinske prednosti. Općenito, stopa iskorištenja ravnih meta je samo 30% do 50%, dok stopa iskorištenja cijevnih rotirajućih meta može doseći i preko 80%. Štoviše, kada koristite rotirajuću šuplju cijevnu Magnetron metu za raspršivanje, budući da se meta može cijelo vrijeme rotirati oko sklopa magneta s fiksnom šipkom, neće doći do ponovnog taloženja na njegovoj površini, tako da je život rotirajuće mete općenito više od 5 puta duži. nego avionske mete.

3. Zamijenite novom opremom za raspršivanje

Ključ za poboljšanje stope iskorištenja ciljanih materijala je dovršetak zamjene opreme za raspršivanje. Tokom procesa raspršivanja ciljanog materijala za raspršivanje molibdena, oko jedna šestina atoma za raspršivanje deponovaće se na zid ili nosač vakuumske komore nakon udara vodonikovih jona, povećavajući troškove čišćenja vakuumske opreme i vreme zastoja. Dakle, zamjena nove opreme za raspršivanje također može pomoći u poboljšanju stope iskorištenja molibdenskih ciljeva za raspršivanje.