Cilj ima mnogo efekata, a prostor za razvoj tržišta je veliki. Veoma je koristan u mnogim oblastima. Gotovo sva nova oprema za raspršivanje koristi snažne magnete za spiralne elektrone kako bi ubrzala ionizaciju argona oko mete, što rezultira povećanjem vjerovatnoće sudara između mete i jona argona. Pogledajmo sada ulogu mete za raspršivanje u vakuumskom premazivanju.
Poboljšajte brzinu prskanja. Generalno, DC raspršivanje se koristi za metalne prevlake, dok se RF AC raspršivanje koristi za neprovodne keramičke magnetne materijale. Osnovni princip je korištenje užarenog pražnjenja za udaranje iona argona (AR) na površinu mete u vakuumu, a kationi u plazmi će ubrzati da pohrle na površinu negativne elektrode kao prskani materijal. Ovaj udar će učiniti da materijal mete izleti i taloži se na podlogu kako bi se formirao film.
Uopšteno govoreći, postoji nekoliko karakteristika filmskog premaza postupkom raspršivanja: (1) metal, legura ili izolator mogu se pretvoriti u filmske podatke.
(2) Pod odgovarajućim uslovima postavljanja, film istog sastava može biti napravljen od višestrukih i neuređenih meta.
(3) Smjesa ili spoj ciljnog materijala i molekula plina može se proizvesti dodavanjem kisika ili drugih aktivnih plinova u atmosferu pražnjenja.
(4) Ciljna ulazna struja i vrijeme raspršivanja mogu se kontrolisati i lako je dobiti visoko preciznu debljinu filma.
(5) U poređenju s drugim procesima, pogoduje proizvodnji uniformnih filmova velike površine.
(6) Na raspršene čestice gravitacija gotovo ne utiče, a položaji mete i supstrata mogu se slobodno rasporediti.
Vrijeme objave: 17.05.2022