Nedavno su se mnogi prijatelji pitali o karakteristikama meta za raspršivanje molibdena. U elektronskoj industriji, kako bi se poboljšala efikasnost raspršivanja i osigurala kvaliteta nanesenih filmova, koji su zahtjevi za karakteristike molibdenskih meta za raspršivanje? Sada će nam to objasniti tehnički stručnjaci iz RSM-a.
1. Čistoća
Visoka čistoća je osnovni karakteristični zahtjev za metu za raspršivanje molibdena. Što je veća čistoća mete molibdena, to su bolje performanse raspršenog filma. Generalno, čistoća cilja za raspršivanje molibdena treba da bude najmanje 99,95% (maseni udio, isti u nastavku). Međutim, sa stalnim poboljšanjem veličine staklene podloge u industriji LCD-a, potrebno je produžiti dužinu ožičenja i tanju širinu linije. Kako bi se osigurala ujednačenost filma i kvaliteta ožičenja, potrebno je u skladu s tim povećati i čistoću cilja za raspršivanje molibdena. Stoga, u skladu sa veličinom staklene podloge od raspršenog stakla i okolinom upotrebe, čistoća ciljanog raspršivanja molibdena mora biti 99,99% – 99,999% ili čak i viša.
Cilj za raspršivanje molibdena se koristi kao katodni izvor u raspršivanju. Nečistoće u čvrstim materijama i kiseonik i vodena para u porama su glavni izvori zagađenja taloženih filmova. Osim toga, u elektronskoj industriji, jer ioni alkalnih metala (Na, K) lako postaju mobilni ioni u izolacijskom sloju, performanse originalnog uređaja su smanjene; Elementi kao što su uranijum (U) i titanijum (TI) će se osloboditi α X-zracima, što će rezultirati blagim kvarom uređaja; Ioni gvožđa i nikla će uzrokovati curenje međuprostora i povećanje kiseonika. Stoga, u procesu pripreme mete za raspršivanje molibdena, ovi elementi nečistoće moraju biti strogo kontrolirani kako bi se njihov sadržaj u meti sveo na minimum.
2. Veličina zrna i distribucija veličine
Općenito, meta za raspršivanje molibdena je polikristalna struktura, a veličina zrna može biti u rasponu od mikrona do milimetra. Eksperimentalni rezultati pokazuju da je brzina prskanja finozrnate mete brža od one sa krupnozrnom metom; Za metu s malom razlikom u veličini zrna, distribucija debljine nanesenog filma je također ravnomjernija.
3. Kristalna orijentacija
Budući da je ciljne atome lako preferirano raspršiti duž smjera najbližeg rasporeda atoma u heksagonalnom smjeru tokom raspršivanja, kako bi se postigla najveća brzina raspršivanja, brzina raspršivanja se često povećava promjenom kristalne strukture mete. Smjer kristala mete također ima veliki utjecaj na ujednačenost debljine raspršenog filma. Stoga je vrlo važno dobiti određenu kristalno orijentiranu ciljnu strukturu za proces raspršivanja filma.
4. Zgušnjavanje
U procesu raspršivanja premaza, kada se bombarduje meta za raspršivanje male gustine, gas koji postoji u unutrašnjim porama mete se naglo oslobađa, što dovodi do prskanja čestica ili čestica mete velikih dimenzija, ili se bombarduje filmski materijal sekundarnim elektronima nakon formiranja filma, što rezultira prskanjem čestica. Pojava ovih čestica će smanjiti kvalitetu filma. Kako bi se smanjile pore u ciljnoj čvrstoj tvari i poboljšale performanse filma, općenito se zahtijeva da meta za raspršivanje ima veliku gustoću. Za metu za raspršivanje molibdena, njena relativna gustina treba da bude veća od 98%.
5. Vezivanje mete i šasije
Općenito, cilj za raspršivanje molibdena mora biti povezan s šasijom od bakra (ili aluminija i drugih materijala) bez kisika prije raspršivanja, tako da je toplinska provodljivost mete i kućišta dobra tokom procesa raspršivanja. Nakon vezivanja, ultrazvučna inspekcija se mora izvršiti kako bi se osiguralo da je površina koja se ne vezuje manja od 2%, kako bi se ispunili zahtjevi raspršivanja velike snage bez otpadanja.
Vrijeme objave: Jul-19-2022