Kao što svi znamo, postoji mnogo specifikacija meta za raspršivanje, a njihova polja primjene su također vrlo široka. Vrste meta koje se obično koriste u različitim poljima su također različite. Danas ćemo sa urednikom RSM-a naučiti o klasifikaciji ciljnih polja primjene raspršivanja!
1、 Definicija mete za prskanje
Sputering je jedna od glavnih tehnologija za pripremu tankoslojnih materijala. Koristi ione proizvedene iz izvora jona da ubrza i skupi se u vakuumu kako bi formirao snop jona velike brzine, bombardirao čvrstu površinu, a ioni razmjenjuju kinetičku energiju s atomima na površini čvrstog tijela, tako da atomi na čvrstoj površini površine se odvajaju od čvrste supstance i talože na površinu podloge. Bombardirana čvrsta materija je sirovina za pripremu tankog filma nanesenog raspršivanjem, koji se naziva meta za raspršivanje.
2、 Klasifikacija ciljnih polja primjene raspršivanja
1. Poluprovodnička meta
(1) Uobičajeni ciljevi: uobičajeni ciljevi u ovoj oblasti uključuju metale visoke tačke topljenja kao što su tantal / bakar / titanijum / aluminijum / zlato / nikl.
(2) Upotreba: uglavnom se koristi kao ključne sirovine za integrirana kola.
(3) Zahtjevi za performanse: visoki tehnički zahtjevi za čistoću, veličinu, integraciju, itd.
2. Meta za ravni ekran
(1) Uobičajene mete: uobičajene mete u ovoj oblasti uključuju aluminijum / bakar / molibden / nikl / niobijum / silicijum / hrom, itd.
(2) Upotreba: ova vrsta mete se uglavnom koristi za razne vrste filmova velike površine kao što su televizori i notebookovi.
(3) Zahtjevi za performanse: visoki zahtjevi za čistoću, veliku površinu, uniformnost, itd.
3. Ciljni materijal za solarne ćelije
(1) Uobičajene mete: aluminijum / bakar / molibden / hrom /ITO/Ta i drugi ciljevi za solarne ćelije.
(2) Upotreba: uglavnom se koristi u „sloju prozora“, sloju barijere, elektrodi i provodljivom filmu.
(3) Zahtjevi za performanse: visoki tehnički zahtjevi i širok raspon primjene.
4. Cilj za pohranu informacija
(1) Uobičajene mete: uobičajene mete kobalta / nikla / ferolegura / hroma / telura / selena i drugih materijala za skladištenje informacija.
(2) Upotreba: ova vrsta ciljanog materijala uglavnom se koristi za magnetnu glavu, srednji sloj i donji sloj optičkog pogona i optičkog diska.
(3) Zahtevi za performanse: potrebna je velika gustina skladištenja i velika brzina prenosa.
5. Cilj za modifikaciju alata
(1) Uobičajene mete: uobičajene mete kao što su titanijum / cirkonijum / legura hroma aluminijuma modifikovana alatima.
(2) Upotreba: obično se koristi za površinsko jačanje.
(3) Zahtjevi za performanse: zahtjevi visokih performansi i dug vijek trajanja.
6. Mete za elektronske uređaje
(1) Uobičajene mete: uobičajene mete od legure aluminijuma / silicida za elektronske uređaje
(2) Namjena: općenito se koristi za tankoslojne otpornike i kondenzatore.
(3) Zahtjevi za performanse: mala veličina, stabilnost, niski temperaturni koeficijent otpora
Vrijeme objave: Jul-27-2022