লক্ষ্য কর্মক্ষমতা প্রয়োজনীয়তা কি কি

লক্ষ্য একটি বিস্তৃত বাজার, অ্যাপ্লিকেশন এলাকা এবং ভবিষ্যতে বড় উন্নয়ন আছে. লক্ষ্য ফাংশনগুলিকে আরও ভালভাবে বোঝার জন্য আপনাকে সাহায্য করার জন্য, এখানে নীচে RSM ইঞ্জিনিয়ার লক্ষ্যের প্রধান কার্যকরী প্রয়োজনীয়তাগুলি সংক্ষেপে পরিচয় করিয়ে দেবেন।

বিশুদ্ধতা: বিশুদ্ধতা লক্ষ্যের প্রধান কার্যকরী সূচকগুলির মধ্যে একটি, কারণ লক্ষ্যের বিশুদ্ধতা চলচ্চিত্রের কার্যকারিতার উপর একটি বড় প্রভাব ফেলে। যাইহোক, ব্যবহারিক প্রয়োগে, লক্ষ্যের বিশুদ্ধতার প্রয়োজনীয়তাগুলিও আলাদা। উদাহরণস্বরূপ, মাইক্রোইলেক্ট্রনিক্স শিল্পের দ্রুত বিকাশের সাথে, সিলিকন ওয়েফারের আকার 6 “থেকে 8″ থেকে 12” পর্যন্ত প্রসারিত হয় এবং তারের প্রস্থ 0.5um থেকে 0.25um, 0.18um বা এমনকি 0.13um পর্যন্ত হ্রাস করা হয়। পূর্বে, লক্ষ্য বিশুদ্ধতার 99.995% 0.35umic-এর প্রক্রিয়া প্রয়োজনীয়তা পূরণ করতে পারে, যখন 0.18um লাইনের প্রস্তুতির জন্য 99.999% বা এমনকি 99.9999% লক্ষ্য বিশুদ্ধতার প্রয়োজন হয়।

অপরিচ্ছন্নতা বিষয়বস্তু: টার্গেট কঠিন পদার্থের অমেধ্য এবং ছিদ্রে অক্সিজেন এবং জলীয় বাষ্প জমা হওয়া ফিল্মের প্রধান দূষণের উত্স। বিভিন্ন উদ্দেশ্যে বিভিন্ন অশুদ্ধতা বিষয়বস্তুর জন্য বিভিন্ন প্রয়োজনীয়তা রয়েছে। উদাহরণস্বরূপ, সেমিকন্ডাক্টর শিল্পে ব্যবহৃত বিশুদ্ধ অ্যালুমিনিয়াম এবং অ্যালুমিনিয়াম খাদ লক্ষ্যগুলি ক্ষারীয় ধাতব সামগ্রী এবং তেজস্ক্রিয় উপাদান সামগ্রীর জন্য বিশেষ প্রয়োজনীয়তা রয়েছে।

ঘনত্ব: টার্গেট সলিডের ছিদ্র কমাতে এবং স্পুটারিং ফিল্মের কার্যকারিতা উন্নত করতে, লক্ষ্যের সাধারণত উচ্চ ঘনত্ব থাকা প্রয়োজন। লক্ষ্যের ঘনত্ব শুধুমাত্র স্পটারিং হারকে প্রভাবিত করে না, তবে ফিল্মের বৈদ্যুতিক এবং অপটিক্যাল ফাংশনকেও প্রভাবিত করে। টার্গেটের ঘনত্ব যত বেশি হবে, ফিল্মের কার্যকারিতা তত ভালো হবে। উপরন্তু, লক্ষ্যের ঘনত্ব এবং শক্তি উন্নত করা হয় যাতে লক্ষ্যটি স্পুটারিং প্রক্রিয়ায় তাপীয় চাপকে আরও ভালভাবে গ্রহণ করতে পারে। ঘনত্ব লক্ষ্যের মূল কার্যকরী সূচকগুলির মধ্যে একটি।